[发明专利]图像传感器无效

专利信息
申请号: 201210134129.2 申请日: 2012-04-28
公开(公告)号: CN102629619A 公开(公告)日: 2012-08-08
发明(设计)人: 方娜;田犁;汪辉;苗田乐;陈杰 申请(专利权)人: 上海中科高等研究院
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海一平知识产权代理有限公司 31266 代理人: 成春荣;竺云
地址: 201210 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 图像传感器
【权利要求书】:

1.一种图像传感器,其特征在于,包括多个像素区域,每个像素区域中有一感光器件,每个感光器件表面上方的周围包围有侧墙反射层,构成用于将入射光导入该感光器件的通孔结构,该侧墙反射层包括第一介质材料和第二介质材料交替形成的周期性叠层结构,其中第一介质材料和第二介质材料的介电常数不同。

2.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述周期性叠层结构的周期大于等于4。

3.根据权利要求2所述的图像传感器,其特征在于,每个感光器件的表面上方覆盖有层间介质层。

4.根据权利要求3所述的图像传感器,其特征在于,所述层间介质层为介电常数小于硅的介电常数的介质材料层。

5.根据权利要求4所述的图像传感器,其特征在于,所述层间介质层为一层。

6.根据权利要求4所述的图像传感器,其特征在于,所述层间介质层为多层,自上而下不同层间介质层的介电常数递增,且最底层层间介质层的介电常数小于硅。

7.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述感光器件为感光二极管。

8.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述侧墙反射层中第一介质材料和第二介质材料厚度相等。

9.根据权利要求1所述的图像传感器,其特征在于,所述侧墙反射层中第一介质材料和第二介质材料厚度不等。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的图像传感器,其特征在于,所述侧墙反射层还包括第三介质材料和第四介质材料交替形成的周期性叠层结构,其中第三介质材料和第四介质材料的介电常数不同。

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