[发明专利]一种基于LTCC的超材料谐振子及制备方法

权利要求书

1.一种基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，所述超材料谐振子包括由Qf为50000GHz～200000GHz的陶瓷粉制成的调节部分和由烧结温度低于950℃的陶瓷粉制备的LTCC部分，所述LTCC部分包括陶瓷基板和附着在所述陶瓷基板上的多个金属微结构。

2.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，所述超材料谐振子还包括连接调节部分和LTCC部分的粘接层部分。

3.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，制备所述调节部分的陶瓷粉的介电常数为40～70。

4.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，制备所述LTCC部分的陶瓷粉的介电常数为30～50。

5.根据权利要求1或3所述的基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，制备所述调节部分的陶瓷粉为A(B_1/3C_2/3)O₃-Xwt％SnO₂，其中A为Ba、Sr或Ca，B为Ni、Co、Sr、Ca、Mn、Cd、Zn或Mg，C为Nb或Ta，X为0～10；或者制备所述调节部分的陶瓷粉为ZnTiNb₂O₈-0.8TiO₂。

6.根据权利要求1或4所述的基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于，制备所述LTCC部分的陶瓷粉为BaZn₂Ti₄O₁₁-Xwt％TeO₂、BaTi₄O₉-Ywt％Nd₂O₃、(Li_1/2Nd_1/2)TiO₃或(Li_1/2Sm_1/2)TiO₃，其中X为0～6、Y为0～10。

7.一种基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：

制备调节部分：将Qf为50000GHz～200000GHz的陶瓷粉制成所述超材料谐振子的调节部分；

制备LTCC部分：将烧结温度低于950℃的陶瓷粉配制成陶瓷浆料，然后流延制成生瓷带，在生瓷带上加工出多个金属微结构后排胶，最后在850℃～950℃下保温1～5小时进行烧结，获得LTCC部分；

将制备的调节部分和LTCC部分连接形成所需的超材料谐振子。

8.根据权利要求7所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于：制备所述LTCC部分时，向所述陶瓷粉中加入助烧剂。

9.一种基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤：

制备调节部分：将Qf为50000GHz～200000GHz的陶瓷粉制成所述超材料谐振子的调节部分；

制备LTCC部分：将烧结温度低于950℃的陶瓷粉配制成陶瓷浆料，然后流延制成多片生瓷带，在需要金属微结构的生瓷带上加工出多个金属微结构，然后根据设计叠压无金属微结构的生瓷带和含金属微结构的生瓷带、排胶，最后在850℃～950℃下保温1～5小时进行烧结，获得含有多层金属微结构的LTCC部分；

将制备的调节部分和LTCC部分连接形成所需的超材料谐振子。

10.根据权利要求9所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于：制备所述LTCC部分时，向所述陶瓷粉中加入助烧剂。