[发明专利]一种基于LTCC的超材料谐振子及其制备方法有效
| 申请号： | 201210133045.7 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102683791A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;徐冠雄;缪锡根 | 申请（专利权）人： | 深圳光启创新技术有限公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518034 广东省深圳市福田*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ltcc 材料 谐振子 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于，所述的制备方法包括以下步骤：
将纳米陶瓷粉制成陶瓷浆料，并流延制成生瓷带；
通过丝网印刷技术在所述生瓷带上制备金属微结构形成生瓷片；
将生瓷片叠合、排胶后放入模具中形成预烧整体；
将预烧整体热压、冷却制得超材料谐振子。
2.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于，所述热压的压力不大于30MPa、温度不大于920℃。
3.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于，向所述纳米陶瓷粉中加入0.5wt％～3wt％助烧剂。
4.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于，所述模具为石墨模具或碳化物模具。
5.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于，所述纳米陶瓷粉为ZnNb2O6，BaTi4O9，Ba3Ti5Nb6O28或BiNbO4。
6.根据权利要求1所述的基于LTCC的超材料谐振子的制备方法，其特征在于：加工所述金属微结构所用的金属为金、银、铜、铝或银钯合金。
7.一种基于LTCC的超材料谐振子，其特征在于：包括权利要求1～6任一项制备的基于LTCC的超材料谐振子。
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