[发明专利]制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺无效
| 申请号： | 201210132842.3 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102660732A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 徐江 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/36 | 分类号： | C23C14/36;C23C14/06;C23C14/14;C23C8/36 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 ti al bn 陶瓷 基非晶 纳米 耐磨 复合 涂层 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.制备 (Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，其特征在于步骤为：
a. 首先进行双阴极等离子溅射沉积，工艺参数如下：靶材电压500~1000 V，工件电压300~450 V，靶材与工件间距10~30 mm，工作气压20~45Pa，沉积温度450~650℃；
b. 然后进行离子氮化，工艺参数如下: 工件电压650~850V，氮化温度450~600℃，工作气压20~45Pa，氮分压0.1-1 Pa；离子氮化1～2小时；
c.溅射的靶材的种类：以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金烧结板；
d. 工件材料的种类：钛合金。
2.根据权利要求1所述的制备 (Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，其特征在于所述步骤a中靶材电压800 V，工件电压400 V，靶材与工件间距20 mm，工作气压35Pa，沉积温度500℃。
3.根据权利要求1所述的制备 (Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，其特征在于所述步骤b中工件电压800V，氮化温度500℃，工作气压35Pa，氮分压0.5 Pa；离子氮化1.5小时。
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