[发明专利]微细通道冷却器

权利要求书

1.一种微细通道冷却器，包括基板(1)以及刻蚀在基板(1)上的若干个微细通道(2)，其特征在于：在基板(1)上位于微细通道(2)两侧还刻蚀有与微细通道(2)相连通的带有分配器入口(5)的分配器(3)、带有汇流器出口(7)的汇流器(6)，在基板(1)上设置有覆盖微细通道(2)、分配器(3)和汇流器(6)的密封盖(8)构成微细通道冷却器。

2.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述的分配器入口(5)、汇流器出口(7)垂直于基板(1)设置穿过密封盖(8)与分配器(3)、汇流器(6)相连通。

3.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述的分配器(3)、汇流器(6)结构相同对称设置，且分配器(3)和汇流器(6)均逐次分为相连通的若干级，每一级由一个或一个以上相同的单元(4)组成，其中第一级的入口、出口分别与配器入口(5)和汇流器出口(7)相连通，末级的出口、入口与微细通道(2)相连通。

4.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述的每一级相同的单元(4)采用半圆环的结构。

5.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述各级圆环通道自两侧向内的宽度逐级缩小，而且尺寸较小下一级的圆环在其对称线上与尺寸较大的上一级的圆环相连接。

6.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述的微细通道(2)的截面为矩形，微细通道的宽度为0.5-2mm，微细通道高度沿冷却流体流动方向逐渐加深，流道长度方向0-1/2L(L为流动长度)处刻蚀深度为2-8mm，1/2L-3/4L处刻蚀深度为2.5-9.5mm，3/4L-1L处刻蚀深度为2.75-10mm。

7.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述的基板(1)的厚度与微细通道(2)的宽度的比值为2-8，微细通道相邻壁面的间距与微细通道宽度比为0.5-1。

8.根据权利要求1所述的微细通道冷却器，其特征在于：所述的在微细通道换热器的两侧设置有绝热层(9)。