[发明专利]镀膜静电消除装置无效
| 申请号： | 201210131052.3 | 申请日： | 2012-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN102644060A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王创茂 | 申请（专利权）人： | 福建泰兴特纸有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;H05F3/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362400 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 静电 消除 装置 | ||
1.一种镀膜静电消除装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室内设有放卷气涨轴、导辊和镀膜辊，所述放卷气涨轴上有原膜，所述原膜穿过导辊进入镀膜辊后收卷，其特征在于：所述真空镀膜室内安装有阳极膜线性离子源，该阳极膜线性离子源的正面发射沟道朝向所述原膜所在平面，所述阳极膜线性离子源连接高纯氩气瓶。
2.根据权利要求1所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述阳极膜线性离子源为CDNY-YJM1000。
3.根据权利要求1或2所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述阳极膜线性离子源的正面发射沟道上安装挡板。
4.根据权利要求1或2所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述阳极膜线性离子源安装在放卷气涨轴与第一根导辊之间的原膜下方平行间距≥200mm以上。
5.根据权利要求1所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述阳极膜线性离子源的阴阳电极连接至离子源控制柜。
6.根据权利要求5所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述离子源控制柜上设有质量流量计。
7.根据权利要求6所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述质量流量计为日本山武质量流量计MPC9200BBRSW10000。
8.根据权利要求1所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述阳极膜线性离子源上连接冷却水源。
9.根据权利要求1所述的镀膜静电消除装置，其特征在于：所述阳极膜线性离子源与所述高纯氩气瓶之间安装减压阀。
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