[发明专利]一种基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感方法及装置

权利要求书

1.一种基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感方法，其特征是步骤包括：

先利用声光偏转器驱使激光器发射出来的激光束产生周期性偏转，用该周期性偏转的激光束来扫描微梁阵列；

再通过光杠杆原理将微梁阵列中各微梁的弯曲变形信号放大；

然后用光电位置敏感探测器PSD时序接收检测所述放大后的弯曲形变信号，从而实时监测各微梁上的生化反应过程信息。

2.根据权利要求1所述的基于声光调制的微悬臂梁阵列生化传感方法，其特征是所述声光偏转器是声光调制器。

3.一种使用权利要求1或2所述方法的装置，其特征是包括激光器、声光调制器、生化反应池、微梁阵列、光电位置敏感探测器PSD和监测单元；

所述声光调制器在激光器发出的准直激光束的光路上；

所述微梁阵列在生化反应池内，微梁阵列在调整声光调制器的出射光的光路上；所述光电位置敏感探测器PSD靶面在微梁阵列的反射光的光路上；所述光电位置敏感探测器PSD的信号输出端连接监测单元的信号输入端；

所述声光调制器包括声光介质和压电换能器；所述压电换能器接收载波频率信号后产生相同频率的超声波传入声光介质；所述准直激光束经过声光介质后产生折射后得到出射光。

4.根据权利要求3所述装置，其特征是所述载波频率信号为超声波。

5.根据权利要求3所述装置，其特征是还包括反光镜，反光镜位于声光调制器和微梁阵列之间的光路上；声光调制器的出射光经反光镜反射后射到微梁阵列上。