[发明专利]带有至少一个封闭机构的阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种阀特别是真空阀，其带有至少一个封闭机构和传动机构，封闭机构用于封闭阀的至少一个通孔，传动机构用于使得封闭机构在封闭位置与至少一个打开位置之间移调，封闭机构在封闭位置封闭通孔，封闭机构在打开位置至少局部地打开通孔，其中传动机构具有可施加压力的用于使得封闭机构移调至其封闭位置的第一空间和可施加压力的用于使得封闭机构移调至其打开位置的至少另一个空间。

背景技术

特别是用于真空技术的阀在现有技术中已知有很多种设计形式。传动机构的种类也是如此。

如果传动机构要使得封闭机构转至封闭位置，则使得所述类型的阀的第一空间处于压力下。另一空间处于压力下，以便使得封闭机构再沿着相反的方向移动至其打开位置。在现有技术中已知，使用双重作用的气缸作为这种传动机构。例如在US 6,367,770 B1中公开了这种现有技术。在传动机构的无压力状态下，所述类型的阀就会有问题。在这种状态下，封闭机构没有确定的位置。

发明内容

本发明的目的是，对所述类型的阀加以改进，使得封闭机构即使在传动机构的无压力状态下也处于确定的位置。

根据本发明为此规定，阀还具有弹性部件，这种弹性部件使得封闭机构朝向封闭位置或者打开位置预压紧。

本发明的构思因而是，除了传动机构外，还设置有弹性部件，该弹性部件使得封闭机构朝向其封闭位置或者朝向其打开位置预压紧。由此可以实现，弹性部件使得封闭机构即使在传动机构的无压力状态下也压靠到阀的至少一个支撑面上或者压靠到打开的静止位置。可以规定，弹性部件使得封闭机构持久地朝向封闭位置或者持久地朝向打开位置预压紧。

特别优选地，本发明的阀是可以在真空技术中使用的所谓的真空阀。在真空技术中，在负压腔室内在纯净室条件下加工敏感的器件比如半导体元件等。真空阀用作这种负压腔室之间的连接件，或者用于控制流入到负压腔室中的和从负压腔室中流出的介质。就真空技术而言，施加相应的负压，由此在工作状态下在负压腔室内产生小于0.001毫巴或0.1帕斯卡的压力。

本发明的这种阀的传动机构尤其是在真空技术中有益地是气动的。也就是说，传动机构空间内的超压和负压通过气态介质的馈入和取出而产生。但完全也可以考虑的是，本发明的阀带有液压的传动机构，据此，把液体特别是油用作压力介质。

在权利要求1的前序部分中使用的术语“空间”也可以用术语“腔室”来代替。“空间”最终还是一种腔室，在这种腔室的内室中可以产生压力。对此，腔室或空间当然必定相应地像惯常一样设有壁，必要时相应地设有阻隔机构，以及设有用于相应压力源的连通件和用于排泄压力的连通件。但此点在现有技术中是公知的。相关的优选设计形式规定，传动机构具有双重作用的气缸或者由这种气缸构成，其中可施加压力的第一空间和可施加压力的另一空间都是气缸的压力腔室，在这些压力腔室之间设置有至少一个活塞，该活塞可利用这些压力腔室中的压力差进行移动。

由于附加于传动机构设置的弹性部件主要被设置用来保证封闭机构在传动机构的无压力状态下处于确定的位置，所以有益的是，利用这种弹性部件对封闭机构只施加比较小的力。这也避免了传动机构在使得封闭机构移调至其打开位置或其封闭位置时不必要地耗用过多能量。如果弹性部件朝向封闭位置起作用，则相关地有益的是，在封闭机构的封闭位置，在封闭机构与阀支撑面之间设置有密封件，且在封闭位置由弹性部件施加到密封件上的在密封件的每毫米长度上的压紧力介于0.1-0.5牛顿之间，优选介于0.1-0.2牛顿之间。按照这种设计，由弹性部件施加的力足以在传动机构的无压力状态下使得封闭机构的密封件压靠到支撑面上。在这里，即使在经由通孔连通的腔室或管线之间没有差压，也仍无法实现密封。如果弹性部件经过设计，使得它在没有所述差压情况下且在传动机构的无压力状态下将密封机构密封地压靠到支撑面上，则有益的是，在封闭机构的封闭位置在封闭机构与阀支撑面之间设置有密封件，且在封闭位置由弹性部件施加到密封件上的在密封件的每毫米长度上的压紧力介于1-5牛顿之间，优选介于1-2牛顿之间。

针对弹性部件的结构设计，有各种不同的方案。弹性部件可以是拉力弹簧或者压缩弹簧。在两种变型方案中，弹性部件例如可以是螺旋弹簧或盘形弹簧或气压弹簧或空气弹簧或弹性体，或者具有这种构件。也可以考虑其组合。

弹性部件也可以称为预置弹簧。术语“预置弹簧”意为，弹性部件主要用于确保封闭机构在传动机构的无压力状态下处于确定的位置。

附图说明

本发明的其它特征和细节可由下面对优选设计形式的说明得到。其中：