[发明专利]灯模块，尤其是用于光谱分析装置的灯模块有效
| 申请号： | 201210127480.9 | 申请日： | 2012-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102759401A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | T.耶内克 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯诺布尔莱特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/10 | 分类号： | G01J3/10;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;卢江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模块 尤其是 用于 光谱分析 装置 | ||
1. 一种包括灯座体（1）的灯模块，所述灯座体具有容纳氘灯（2）的空腔（12），所述氘灯具有由合成石英玻璃制成的灯泡，所述空腔（12）具有用光学透射元件（5）封闭的光束输出开口（4），以及VUV边缘滤波器（6；9）在所述光束输出开口（4）中位于所述光学透射元件（5）面对所述氘灯（2）的一侧上。
2. 根据权利要求1所述的灯模块，其中在所述灯座体的空腔（12）中定位所述灯泡，留下间隙（2a），所述间隙具有0.5mm到5mm范围中的宽度。
3. 根据权利要求2所述的灯模块，其中所述间隙（2a）保持在真空下或用无氧气体填充。
4. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述光学透射元件（5）在所述光束输出开口（4）中布置为与所述灯泡有最大20mm的间隔。
5. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述灯座体（1）包括金属冷却体。
6. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（6）在所述光束输出开口（4）中直接布置于所述光学透射元件（5）的表面上。
7. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（9）在所述光束输出开口（4）中布置为与所述光学透射元件（5）面对所述氘灯（2）的表面间隔开。
8. 根据权利要求7所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（9）具有0.1到1mm范围中的厚度。
9. 根据权利要求8所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（9）具有0.3mm的最大厚度。
10. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（6；9）是从吸收滤波器、干涉滤波器和这两种滤波器的组合中选择的。
11. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（6；9）包括多层材料。
12. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述光束输出开口（4）相对于外部是密封的。
13. 根据权利要求1所述的灯模块，其中所述VUV边缘滤波器（6；9）具有在180-200nm范围中的吸收边缘。
14. 根据权利要求1所述的灯模块，还包括布置在所述灯座体（1）的空腔（1a）中的第二光谱灯（3），所述第二光谱灯（3）的光束通过所述氘灯（2）的灯泡被引导到所述光束输出开口（4）。
15. 根据权利要求14所述的灯模块，其中所述第二光谱灯（3）是从卤素灯和发光二极管中选择的。
16. 一种光谱分析装置，包括根据权利要求1所述的灯模块。
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