[发明专利]SiC颗粒表面镀钨的方法无效

专利信息
申请号: 201210125165.2 申请日: 2012-04-26
公开(公告)号: CN102642025A 公开(公告)日: 2012-08-22
发明(设计)人: 刘磊;吴忠;沈彬;胡文彬 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: B22F1/02 分类号: B22F1/02
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 郭国中
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: sic 颗粒 表面 方法
【权利要求书】:

1.一种SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤一、对SiC颗粒表面进行氢氟酸清洗及粗化处理;

步骤二、对步骤一处理后的SiC颗粒进行活化-敏化处理;

步骤三、将步骤二处理后的SiC颗粒浸滞在偏钨酸铵溶液中进行浸滞处理;

步骤四、将步骤三处理后的SiC颗粒低温烘干后用氢气进行还原,得到镀覆钨的SiC颗粒。

2.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤一中的氢氟酸质量百分比浓度为10~30%。

3.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤一中的清洗及粗化处理具体为:将SiC颗粒放入氢氟酸,超声振荡,取出用去离子水冲洗,低温烘干。

4.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤二中活化-敏化液的配制为:每升活化-敏化液包含PdCl2 0.25g、SnCl2 15g、NaCl 80g、HCl0.1L以及余量的水。

5.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤二中浸滞处理具体为:将步骤一处理后的SiC颗粒浸没在活化-敏化液中,50~70℃超声处理,去离子水清洗,低温烘干。

6.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤三中偏钨酸溶液的浓度为200~280g/L。

7.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤三中浸滞处理具体为:将步骤二处理后的SiC颗粒浸滞在偏钨酸铵溶液中,超声振荡20~30分钟。

8.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤四中低温烘干温度为50~70℃。

9.根据权利要求1所述的SiC颗粒表面镀钨的方法,其特征在于,所述步骤四中用氢气还原具体为:将步骤三处理后的SiC颗粒在氢气气氛下于800~900℃还原2~3小时,冷却后取出。

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