[发明专利]三轴磁传感器无效

申请号：	201210120464.7	申请日：	2012-04-23
公开（公告）号：	CN103376425A	公开（公告）日：	2013-10-30
发明（设计）人：	蒋乐跃;刘海东;蔡永耀;赵阳;张俊德	申请（专利权）人：	美新半导体（无锡）有限公司
主分类号：	G01R33/02	分类号：	G01R33/02
代理公司：	无锡互维知识产权代理有限公司 32236	代理人：	王爱伟
地址：	214000 江苏省无锡***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	三轴磁传感器
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【权利要求书】：

1.一种三轴磁传感器，其包括有衬底层，其特征在于，其中所述衬底层沿X和Y轴方向上分别设置有夹角分别为θ₁和θ₂的第一、第二斜坡，所述第一斜坡上沿斜坡倾斜的方向上设置有第一传感器单元S₁，所述第二斜坡上沿斜坡倾斜的方向上设置有第二传感器单元S₂，所述第一传感器单元和第二传感器单元分别感应水平方向以及竖直方向上的磁信号并输出探测值，从而完成对X、Y及Z轴三个方向上的磁信号的探测。

2.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中θ₁角度范围是15～75度。

3.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中θ₂角度范围是15～75度。

4.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中θ₁＝θ₂＝θ。

5.如权利要求4所述的三轴磁传感器，其特征在于，其通过以下公式计算第一传感器单元和第二传感器单元在各轴方向上的输出：

S_1xout＝B_x*cosθ；S_2yout＝B_y*cosθ；S_1zout＝-B_z*sinθ；S_2zout＝-B_z*sinθ；

其中环境中X、Y及Z轴三轴方向的磁场分别为B_x，B_y，B_z。

6.如权利要求5所述的三轴磁传感器，其特征在于，其通过以下公式计算得出探测到的磁场数值：

B_x＝S_1xout/cosθ；B_y＝S_2yout/cosθ；B_z＝(-S_1zout-S_2zout)/cosθ/2。

7.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中所述第一传感器单元是感应X轴方向上的磁信号。

8.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中所述第二传感器单元是感应Y轴方向上的磁信号。

9.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中所述衬底层上设置有两个相对设置的第一斜坡，每个斜坡上均设置有第一传感器单元。

10.如权利要求1所述的三轴磁传感器，其特征在于，其中所述衬底层上设置有两个相对设置的第二斜坡，每个斜坡上均设置有第二传感器单元。