[发明专利]Y型分岔光波导及其制作方法在审
| 申请号： | 201210120366.3 | 申请日： | 2012-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN103376505A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 黄新舜 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/138 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分岔 波导 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及光波导，尤其涉及一种Y型分岔光波导及其制作方法。
背景技术
光波导，例如Y型或是其它结构型被用作光耦合或是光分离元件。例如，在光纤传输中，光波导可将不同波长的光耦合于一条光纤中或是将不同波长的光从一条光纤中分离出来。Y型分岔光波导以高操作频宽、高制程容忍度的优点被广泛使用。
为控制光信号的传播损耗，现有的Y型分岔光波导常把Y分岔处的角度控制在1度以下，然而在实际制程上，1度以下的分角会增加制程的困难度，产品良率低，例如产品常有很明显的坑洞，或者是粗糙的断裂线，使得Y分岔为非预期的切角，即常产生不完整的Y分岔。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种Y型分岔光波导及其制作方法，可以提高产品良率，同时有较低的光信号损耗。
一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。
一种Y型分岔光波导的制作方法，其包括：提供一个导光基底及一个含有与上述Y型分岔光波导对应的图形的遮罩；以及将该遮罩应用于黄光微影制程中以利用该遮罩于该导光基底形成该Y型分岔光波导。
相对于现有技术，本发明提供的Y型分岔光波导的两个分枝之间具有一个端面使该分岔处非为一个尖角，如此使制程容易，产品良率高，如此光信号的损耗可以比不完整的Y分岔少，同时使该两个分枝分岔角度容易控制。
附图说明
图1是本发明实施例提供的Y型分岔光波导。
图2是本发明实施例提供的导光基底及遮罩。
主要元件符号说明
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