[发明专利]基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装

说明书

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其是涉及一种基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装及方法。

背景技术

光刻机主基板是整机内部世界中的重要部件，通常采用低热膨胀的殷钢合金(Invar)制造。在主基板的上面装有测量支架和投影物镜，测量支架上表面安装掩模台激光干涉仪。

光刻机通常都采用一种传统分体式内部世界框架，即主基板与测量支架采用螺栓紧固连接方式。这种方法便于在主基板上吊装投影物镜，然而由于采用螺栓连接，主基板与测量支架之间的接触面仅有几处的连接点具有紧固效果，故框架零件之间的连接强度较弱，该光刻机的整机内部世界的刚度和动态性能，不利于光刻分辨率和套刻精度的提高。

另，现在也有提出一种整体式内部世界框架的光刻机，即主基板与测量支架采用焊接或整体铸造形式，该结构虽然提高了连接的可靠性及整机内部世界框架模态值，但由于主基板与测量支架不可拆卸，投影物镜在安装时很容易被测量支架阻挡而造成投影物镜的安装位置不准确甚至于无法装入，导致光刻分辨率和套刻精度的较低。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：投影物镜在安装时很容易被测量支架阻挡而造成投影物镜的安装位置不准确甚至于无法装入。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

一种基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装，用于将带有安装法兰的投影物镜装入主基板与测量支架中，所述装配工装包括：

第一部分，套设于所述投影物镜的顶部；

第二部分，套设于所述投影物镜的底部且位于所述安装法兰的下方；

多个连接杆，连接所述第一部分、第二部分；

转轴，设于所述第一部分中部，位于所述投影物镜之上，所述转轴通过推力轴承与所述第一部分形成转动副。

进一步，所述装配工装还包括导杆，所述第二部分上设有导向槽，所述导向槽为一段圆弧形，所述导杆一端固定于主基板，另一端穿设于所述导向槽，在光刻机投影物镜装配过程中起导向作用。

进一步，所述装配工装还包括限位销，所述导向槽侧部设有限位孔，所述限位销穿设所述限位孔以对导杆进行固定限位。

进一步，所述第二部分为一圆形法兰。

进一步，所述导杆为三根，所述导向槽为三个，其均匀对称分布于所述圆形法兰的圆周上。

进一步，所述连接杆为联接螺栓，所述第一部分、第二部分分别开设有多个相互对应的螺栓孔。

进一步，所述第一部分包括相互固定的上部及下部，所述上部及下部端部通过固定件而将上部及下部固定成一体。

进一步，所述上部的圆周上还开设有多个第一螺栓孔，所述第二部分的圆周上还对应开设有多个第二螺栓孔，所述下部的圆周上还对应开设有多个第三螺栓孔，通过所述连接杆分别穿设所述上部的第一螺栓孔、所述下部的第三螺栓孔及第二部分的第二螺栓孔，从而将所述上部、下部及第二部分固定连接起来。

进一步，所述转轴设有连接外部承载力的吊环。

本发明还提供一种如上述基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配方法，所述方法包括以下步骤：

步骤S1：安装所述将装配工装，所述第一部分套设于所述固定有安装法兰的投影物镜的顶部，将所述第二部分套设于所述投影物镜的底部且位于安装法兰的下方，通过多个连杆连接所述第一部分、第二部分；

步骤S2：通过外力吊起所述装配工装，将所述投影物镜从主基板与测量支架上方位置逐步竖直下降，当所述投影物镜下降到安装法兰的底部与测量支架顶部同一高度之前，通过设于所述装配工装转动投影物镜，使得所述安装法兰避开所述测量支架的阻挡；

步骤S3：所述投影物镜继续下降，当所述投影物镜下降到安装法兰进入并避开测量支架的阻挡后，再通过所述装配工装反方向转动投影物镜，即安装法兰转到设计安装角度；

步骤S4：所述投影物镜继续下降，直到所述安装法兰与主基板实现正确定位，固定所述投影物镜；

步骤S5：松开连接所述第一部分、第二部分的多个连接杆，拆卸并移出所述第一部分、第二部分，从而完成了本发明基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装的装配工作。