[发明专利]一种具有工位切换功能的掩模台

权利要求书

1.一种具有工位切换功能的掩模台，其特征在于，包括：承版台、气浮板、工位切换机构、气浮结构、水平向微调机构和垂向调节机构，所述承版台通过气浮结构固定于气浮板上方，用于承载具有一个或多个图形的掩模版，所述工位切换机构包括切换机构驱动装置、导轨以及柔性解耦机构，所述导轨上具有可沿导轨滑动的滑块，所述滑块通过柔性解耦机构与所述承版台固定连接，所述切换机构驱动装置驱动所述滑块沿导轨滑动，带动所述承版台移动以切换掩模版上的图形工位；所述水平向微调机构用于驱动气浮板在水平方向移动以实现掩模版水平方向的调节；所述垂向调节机构用于调节掩模版的垂向高度。

2.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述柔性解耦机构包括导轨固定端、承版台固定端以及连接所述导轨固定端和所述承版台固定端的柔性簧片，所述柔性解耦机构的承版台固定端、导轨固定端分别与承版台和导轨固定连接。

3.如权利要求2所述的掩模台，其特征在于，所述柔性簧片的材料为弹簧钢。

4.如权利要求2或3所述的掩模台，其特征在于，所述柔性簧片的厚度为0.1mm～0.3mm。

5.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述气浮结构包括正压气浮单元和真空吸附单元。

6.如权利要求5所述的掩模台，其特征在于，所述正压气浮单元包括正压区域和正压控制阀，所述真空吸附单元包括真空区域和真空控制阀，所述正压控制阀用于在将图形切换到工位的过程中打开正压区域的正压气体为承版台提供气浮支撑，所述真空控制阀用于在将图形切换到工位后打开真空区域的真空为承版台提供真空固定。

7.如权利要求6所述的掩模台，其特征在于，所述真空区域和正压区域分别对称设置于承版台的两侧。

8.如权利要求6或7所述的掩模台，其特征在于，所述真空区域和正压区域呈相邻设置。

9.如权利要求6或7所述的掩模台，其特征在于，所述真空区域和正压区域是一体的，所述真空区域包含在正压区域内。

10.如权利要求1所述的掩模台，其特征在于，所述承版台和所述气浮结构是一体成形的。