[发明专利]一种投影光学系统的倍率调节方法

权利要求书

1.一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：提供一投影光学系统，该投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度，所述第二镜组位于所述第一镜组和第三镜组之间，所述第一镜组位于所述物平面和第二镜组之间；所述后组包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和第六镜组具有正光焦度，所述第五镜组具有负光焦度，所述第五镜组位于所述第四镜组和第六镜组之间，所述第六镜组位于所述像平面和第五镜组之间，所述前组和后组关于所述孔径光阑对称，同时移动所述第三镜组和第四镜组中对称的一组透镜，调节光学系统的投影倍率。

2.根据权利要求1所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述的投影光学系统满足：

关系式1：0.2＜f1/fa＜1.4；

关系式2：-0.4＜f2/fa＜-0.06；

关系式3：0.12＜f3/fa＜0.6，

其中，f1：第一镜组的组合焦距；f2：第二镜组的组合焦距；f3：第三镜组的组合焦距；fa：前组的组合焦距。

3.根据权利要求1所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第一镜组包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和第二透镜均为双凸透镜。

4.根据权利要求1所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第二镜组包括第三透镜和第四透镜，所述第三透镜具有负光焦度，所述第三透镜包括一个面向所述像平面的凹面；所述第四透镜具有负光焦度，所述第四透镜包括一个面向所述物平面的凹面。

5.根据权利要求4所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第三镜组包括第五透镜和第六透镜，所述第五透镜具有正光焦度，所述第六透镜具有正光焦度。

6.根据权利要求4所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述的投影光学系统满足：

关系式4：-2.0＜r1/r2＜-0.5；

关系式5：1.0＜r3/r2＜2.0，

其中，r1：所述第三透镜的凹面的曲率半径；r2：所述第四透镜的凹面的曲率半径；r3：第三镜组的曲面中的绝对值最小的曲率半径。

7.根据权利要求1所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述投影光学系统中的透镜数量大于等于10，且小于等于20。

8.根据权利要求1所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述第一镜组的透镜中最少有2个曲面的曲率半径的绝对值相等。

9.根据权利要求1所述的一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：所述前组的组合后焦点位于所述孔径光阑的中心，所述后组的组合前焦点位于所述孔径光阑的中心。