[发明专利]一种非对称像差补偿装置

权利要求书

1.一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，其特征在于，所述多个驱动器能对所述被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差。

2.根据权利要求1所述的非对称微动形变像差补偿装置，其特征在于，每个所述驱动器都具有一电机、一固定于电机上的电机垫块和一活塞组件。

3.根据权利要求2所述的非对称微动形变像差补偿装置，其特征在于， 所述被补偿镜片周边具有多个与所述驱动器对应设置的小球。

4.根据权利要求3所述的非对称微动形变像差补偿装置，其特征在于，所述活塞组件通过螺纹形式垂直固定于上镜座上，其位置与所述电机的位置一一对应，所述活塞组件的压力和所述电机的驱动力形成一对相互作用力，垂直作用在相应的小球上，限制所述被补偿镜片的垂向移动。

5.根据权利要求4所述的非对称微动形变像差补偿装置，其特征在于，每个活塞组件都包含一压块、一弹性元件、一活塞和一套筒，所述压块通过螺纹固定在所述套筒上，并与所述活塞配合向下挤压所述弹性元件使之变形，从而产生与所述电机驱动力方向相反的弹力。

6.根据权利要求2所述的补偿装置，其特征在于，所述电机垫块分为“V”形限位垫块和平面垫块两种类型，两种垫块间隔设置。

7.根据权利要求6所述的非对称微动形变像差补偿装置，其特征在于，每两个所述限位垫块之间设置有多个所述平面垫块。

8.根据权利要求3-7中任意一个所述的非对称微动形变像差补偿装置，其特征在于，所述小球为在镜片圆周直接加工而得到，或是通过粘接方式在固定在镜片周边。

9.一种非对称微动形变像差的校正补偿装置，所述校正补偿装置包括掩模版、光学系统、控制单元、主机和波像差传感器，其特征在于，所述光学系统中具有根据权利要求1-8中任意一个所述的补偿装置，在使用所述校正补偿装置进行校正补偿时，首先根据光学系统的设计需求确定被补偿镜片，然后通过控制补偿装置中的不同的驱动器使镜片在形变范围内发生变形，借助波像差传感器的检测结果，计算出各阶非对称像差补偿的算法，在光学系统调整过程中根据实际测试结果选取像差需要补偿阶数的算法，驱动相应的驱动器使光学元件表面发生形变而补偿像差。