[发明专利]等离子体镀铬渗氮铁基燃料电池双极板材料的制备方法无效
申请号: | 201210116822.7 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN102628162A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 顾大明;肖宇;刘峰;黄国胜 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;H01M8/02 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 金永焕 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子体 镀铬 渗氮铁基 燃料电池 极板 材料 制备 方法 | ||
1.等离子体镀铬渗氮铁基燃料电池双极板材料的制备方法,其特征在于等离子体镀铬渗氮铁基燃料电池双极板材料的制备方法是按以下步骤完成的:
一、将镜面抛光的不锈钢基片浸入无水乙醇中,并在频率为30kHz~50kHz下超声处理15min~30min,然后室温下风干,得到表面处理不锈钢基片;二、将表面处理不锈钢基片置于磁控溅射设备的真空室内,并利用涡轮分子泵和复合真空计将磁控溅射设备的真空室抽真空,至真空室内压力为4×10-3Pa~6×10-3Pa为止;三、以气体流量为8.5sccm~14.5sccm将Ar通入压力为4×10-3Pa~6×10-3Pa的真空室内,然后通过调节加热电流使真空室内温度从室温上升至250℃~350℃;四、将磁控溅射设备的溅射功率调至100W~200W,当Cr靶上产生辉光放电现象时通入N2,沉积30min~90min,即得到等离子体镀铬渗氮铁基燃料电池双极板材料;步骤四中通入N2的气体流量与步骤三中通入Ar的气体流量的比为1∶(8~20)。
2.根据权利要求1所述的等离子体镀铬渗氮铁基燃料电池双极板材料的制备方法,其特征在于步骤一中所述的不锈钢基片为304L不锈钢基片或316L不锈钢基片。
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