[发明专利]膜片式流体控制阀

权利要求书

1.一种膜片式流体控制阀，具有用于向阀口开闭方向驱动阀芯的膜片装置，该膜片式流体控制阀的特征在于，

所述膜片装置具有膜片和膜片保持部件，该膜片保持部件具有在该膜片的上表面侧划分出压力室的大致盖状的上表面侧压力室划分部，

所述膜片的内周部与外周部之间形成有在截面上看具有至少一个向上凸的山部且俯视看呈同心圆环状的波纹部，

在所述上表面侧压力室划分部的径向中间部分设有与所述膜片的内周部抵接卡止的上限位件，以限制所述膜片向上方的过度变位，并在所述上表面侧压力室划分部的所述上限位件的外周侧设有圆环状槽或空部，用以在所述膜片的内周部与所述上限位件抵接卡止的状态下容纳所述波纹部中位于最内周侧的山部部分且使该山部部分不会产生较大变形。

2.如权利要求1所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，所述上表面侧压力室划分部为大致盖形状，该盖形状具有中央圆锥台状部、与该中央圆锥台状部的下部相连的环状板部、以及用来密封固定所述膜片的外周部的上侧夹持部，所述环状板部的内周部下表面作为所述上限位件，在所述环状板部的所述上限位件部分的外周侧设有向上侧凹陷的圆环状槽，该圆环状槽用于纳入位于所述最内周侧的山部部分且使该山部部分不会产生较大变形。

3.如权利要求1所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，在所述上表面侧压力室划分部的半径方向中间部分设有作为所述上限位件的下方突出部，并且，该下方突出部的外周侧为用于容纳位于所述最内周侧的山部部分且使该山部部分不会产生较大变形的所述空部。

4.如权利要求1至3中任一项所述的膜片式流体控制阀，其特征在于，在所述波纹部上形成有[N个+(0.25～0.75)个]在截面上看向上凸的山部且N为正的整数(1、2、3……)。

5.一种膜片装置，其特征在于，具有膜片和膜片保持部件，该膜片保持部件具有在该膜片的上表面侧划分出压力室的大致盖状的上表面侧压力室划分部，在所述膜片的内周部与外周部之间形成有在截面上看具有至少一个的向上凸的山部且俯视看呈同心圆环状的波纹部，

在所述上表面侧压力室划分部的径向中间部分设有与所述膜片的内周部抵接卡止的上限位件，以限制所述膜片向上方的过度变位，并在所述上表面侧压力室划分部的所述上限位件的外周侧设有圆环状槽或空部，用以在所述膜片的内周部与所述上限位件抵接卡止的状态下容纳所述波纹部中位于最内周侧的山部部分且使该山部部分不会产生较大变形。