[发明专利]三氯氢硅精馏系统

权利要求书

1.一种三氯氢硅精馏系统，其特征在于，包括：

第一精馏塔，所述第一精馏塔设有第一上出口、第一下出口、位于所述第一上出口和所述第一下出口之间的第一进料口、第一回流口和第一回气口；

冷凝器，所述冷凝器的进口与所述第一上出口相连且所述冷凝器的出口与所述第一回流口相连；

第二精馏塔，所述第二精馏塔设有第二上出口、第二下出口、位于所述第二上出口和所述第二下出口之间的第二进料口、第二回流口和第二回气口，所述第一精馏塔的水平高度高于所述第二精馏塔的水平高度；

第一再沸器，所述第一再沸器的第一进口与所述第一下出口相连且所述第一再沸器的第一出口与所述第一回气口相连，所述第一再沸器的第二进口与所述第二上出口相连且所述第一再沸器的第二出口与所述第二回流口相连；

过冷器，所述过冷器的进口与所述第一再沸器的第二出口相连且所述过冷器的出口与所述第二回流口相连；和

第二再沸器，所述第二再沸器的进口与所述第二下出口相连且所述第二再沸器的出口与所述第二回气口相连。

2.根据权利要求1所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述冷凝器的出口还与所述过冷器出口相连，所述第一精馏塔的第一下出口还与所述第二精馏塔的第二下出口相连。

3.根据权利要求1或2所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一上出口设在所述第一精馏塔的顶部，所述第一下出口设在所述第一精馏塔的底部，所述第一进料口设在所述第一精馏塔的中部；及

所述第二上出口设在所述第二精馏塔的顶部，所述第二下出口设在所述第二精馏塔的底部，所述第二进料口设在所述第二精馏塔的中部。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一和第二精馏塔的尺寸和形状完全相同。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一和第二精馏塔的纵向剖面均为长圆形且所述第一和第二精馏塔的纵轴线沿竖直方向定向。

6.根据权利要求5所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一和第二精馏塔的直径相同。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一精馏塔的水平高度高于所述第二精馏塔的水平高度1-2米。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一精馏塔内的操作压力为0.1-0.3MPa，所述第二精馏塔内的操作压力为0.3-0.7MPa。

9.根据权利要求7所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一精馏塔内的理论塔板数为80-100块且所述第二精馏塔内的理论塔板数为100-120块。

10.根据权利要求8所述的三氯氢硅精馏系统，其特征在于，所述第一和第二精馏塔的回流比均为8-15。