[发明专利]一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构

权利要求书

1.一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构，包括气缸和与气缸相连的进气回路，在进气回路上设有用于启闭气路的电磁阀，电磁阀通过信号线与控制单元相连；其特征在于，所述气缸固定于气缸座上，气缸座固定于晶体生长设备的壁上；气缸座内设置滑块，滑块的一端与气缸的轴相连，另一端是密封端；滑块的密封端与晶体生长设备的门或窗口的侧边相对应，且各设密封面；每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分，两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。

2.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，在锁紧状态下，两个密封面的斜面部分和平面部分均相互贴合。

3.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，在所述气缸上设有磁性开关，磁性开关通过信号线接至控制单元。

4.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述气缸座中设有油嘴和油槽。

5.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，气缸与气缸座之间、气缸座与晶体生长设备的壁之间均通过螺钉实现固定。

6.根据权利要求1所述的机构，其特征在于，所述控制单元通过信号线连接至设于晶体生长设备的工艺介质入口管线上的控制阀门。

7.根据权利要求1至6任意一项中所述的机构，其特征在于，在晶体生长设备上设有压力检测装置，压力检测装置通过信号线接至控制单元。

8.根据权利要求7所述的机构，其特征在于，所述进气回路上还设有储气罐。

9.根据权利要求8所述的机构，其特征在于，在储气罐上设有压力检测装置，压力检测装置通过信号线接至控制单元。