[发明专利]一种激光三差动共焦theta成像检测方法

权利要求书

1.一种激光三差动共焦theta成像检测方法，采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳，入射光束透过照明光瞳后被物镜会聚到被测表面，载有被测样品信息的反射光经过收集光瞳后，被会聚物镜会聚到探测面上，其特征在于：

(1)在探测焦面上设置三个微小区域，测得这三个区域的响应分别为I₁(z，-C)、I₀(z，0)和I₂(z，C)，其中，三个微小区域的位置为沿x_d轴方向排列，一个位于y_d轴上，其余关于y_d轴对称，z为被测样品沿物镜光轴方向的位移，C为微小探测区域中心相对y_d轴的偏移量；

(2)依据响应，将I₁(z，-C)、I₀(z，0)和I₂(z，C)两两相减，

I_T-1(z，C)＝I₀(z，0)-I₂(z，C)

I_T-2(z，C)＝I₀(z，0)-I₁(z，-C)

I_T-3(z，C)＝I₁(z，-C)-I₂(z，C)

得到传感技术特性方程I_TCTM(z，C)：

ITCTM(z,C)=IT-1(z,C),IT-3(z,C)≥0IT-2(z,C),IT-3(z,C)<0;]]>

(3)依据曲线I_TCTM(z，C)在线性区间内的信号大小，或依据曲线I_TCTM(z，C)零点的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。