[发明专利]TEM的无失真消像散

权利要求书

1.一种带电粒子装置，配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在所述物镜与所述检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于所述物镜与所述检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述三个消像散器（250，252，254）定位于所述物镜（214）与所述成像光学器件（216）之间，因而当改变所述成像光学器件的设置时无需改变所述消像散器的激励。

3.根据任一前述权利要求所述的装置，所述装置配备有具有用户界面的控制器，所述用户界面示出用于控制所述消像散器（250，252，254）的控件，所述控件以图像像散、衍射像散和线性像散与独立控件关联这样的方式控制所述消像散器。

4.根据任一前述权利要求所述的装置，其中所述装置是透射电子显微镜或者扫描透射电子显微镜。

5.一种使用根据任一前述权利要求所述的装置的方法，所述方法包括激励所述第一消像散器以在对所述样本成像时减少像散并且激励所述第二消像散器以在对所述衍射平面成像时减少像散，其特征在于所述方法包括激励所述第三消像散器以减少线性失真。