[发明专利]一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜有效
| 申请号： | 201210107914.9 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102621822A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵泽宇;王彦钦;冯沁;王长涛;罗云飞;陶兴;黄成;杨磊磊;姚纳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 曲面 平面 分辨 缩小 成像 光刻 透镜 | ||
1.一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：该透镜从下至上依次包括以下组成部分：
一可透光的平面多层膜结构，用于将曲面多层膜结构缩小所成的像，等比地投到平整的像面上；
一可缩小成像的曲面多层膜结构，用于实现图形的缩小倍率超分辨成像；
一金属掩膜结构，作为缩小成像光刻的掩模图形；
一粘连剂层，用于将平面多层膜结构、曲面多层膜结构、金属掩模结构固定在基底材料上；
一基底材料，用于附着和支撑该缩小倍率超分辨成像透镜结构。
2.根据权利要求1所述的一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：所述平面多层膜结构由金属Ag层与介质SiO2层交替沉积组成，共需要10～50层；光可以在平面多层膜结构中透过，从而实现图形的传递。
3.根据权利要求1所述的一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：所述曲面多层膜结构也是由金属Ag层与介质SiO2层组成，共需要10-50层；由于光波在曲面多层膜结构中传播时会发生光场的尺寸变化，从而引起像的尺寸变化，最终实现图形的缩放成像，缩放倍率由曲面多层膜结构的外径与内径比例决定。
4.根据权利要求1所述的一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：所述的金属掩膜结构为金属铬膜，在铬膜上开孔，形成最终的铬掩膜。
5.根据权利要求1所述的一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：所述粘连剂可以是紫外固化胶或PMMA。
6.根据权利要求1所述的一种实现曲面到平面超分辨缩小成像光刻的透镜，其特征在于：所述基底材料为石英片或玻璃片。
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