[发明专利]动态、实时紫外线辐射强度监控器

说明书

技术领域

本发明涉及电学领域，更具体地，涉及动态、实时紫外线辐射强度监控器。

背景技术

紫外线固化使用紫外线辐射加热或固化材料。具体紫外线辐射波长和紫外线辐射强度通常与材料层相关联，从而保证充分固化该材料层。不能保持材料层的相关紫外线辐射强度，换句话说，在固化期间，稳定的紫外线辐射强度可能导致对材料层的损害，例如，变色、破裂、粘性、以及其他问题。还期望一致、稳定的紫外线辐射强度，从而保证诸如旋涂玻璃(SOG)材料层的材料层的均匀收缩率。如果收缩率不均匀，则不可能达到材料层的期望厚度。因此，已经实施各种方法，从而监控用于固化材料层的紫外线辐射的紫外线辐射强度。在实例中，温度计在紫外线固化工艺期间通过监控衬底温度(将材料层设置在该衬底上方)来监控紫外线辐射强度。由于温度计监控衬底温度，尤其是由于温度计没有暴露在紫外线辐射下，所以该温度计对实际紫外线辐射强度不敏感。因此，当紫外线辐射强度实际上没有达到无法接受的水平时，温度计可以指示紫外线辐射强度已经达到无法接受的水平。在另一实例中，在紫外线固化装置使用微波源生成激发紫外线辐射源的微波能量(该紫外线辐射源发出紫外线辐射)的情况下，通过与微波能源连接的射频(RF)检测器来监控紫外线辐射强度。虽然现有方法通常充分用于期望目的，但是该现有方法不能在所有方面完全满足要求。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种装置，包括：工艺腔，在工艺腔中具有辐射源，其中，辐射源被配置为在工艺腔内发出辐射；辐射传感器，附接至工艺腔；以及光纤，与辐射源和辐射传感器连接，其中，光纤被配置为将所发出的辐射的一部分传输给辐射传感器，并且辐射传感器被配置为检测所发出的辐射的一部分的强度。

其中，辐射为紫外线辐射。

其中，辐射具有约10nm至约400nm的波长。

其中，工艺腔为紫外线固化腔。

其中，辐射传感器附接至工艺腔的动态部分。

其中，工艺腔的动态部分被配置为进行摆动。

其中，辐射传感器为光学传感器。

其中，光学传感器为感光二极管、光学发射光谱仪、以及光纤温度计中的一个。

该装置进一步包括：故障检测和分类FDC系统，连接至辐射传感器和工艺腔。

其中，辐射传感器被配置为将所发出的辐射的强度实时提供给FDC系统。

此外，本发明还提供了一种装置，包括：紫外线辐射工艺腔，在紫外线辐射工艺腔中具有紫外线辐射源；紫外线辐射传感器模块，被设置在紫外线辐射工艺腔的外部；以及光纤，连接在紫外线辐射传感器模块和紫外线辐射工艺腔之间，使得光纤被配置为将从紫外线辐射源所发出的紫外线辐射传输至紫外线辐射传感器模块，其中，紫外线辐射传感器模块被配置为监控所发出的紫外线辐射的强度。

其中，紫外线辐射传感器包括光学传感器，其中，光学传感器连接至光纤。

其中，光学传感器为感光二极管、光学发射光谱仪、以及光纤温度计中的一个。

其中，紫外线辐射传感器附接至紫外线辐射工艺腔。

其中，紫外线辐射传感器附接至紫外线辐射工艺腔的动态部分。

其中，紫外线辐射具有约10nm至约400nm的波长。

此外，还提供了一种方法，包括：使材料层暴露在从紫外线辐射生成源所发出的紫外线辐射下；在使材料层曝光期间监控所发出的紫外线辐射的强度，其中，监控包括：经由光纤将所发出的紫外线辐射的一部分传输至辐射传感器；以及当所发出的紫外线辐射的监控强度不能满足阈值时，调节曝光。

其中，在使材料层曝光期间监控所发出的紫外线辐射的强度包括：通过辐射传感器测量所发出的紫外线辐射的一部分的强度。

其中，在使材料层曝光期间监控所发出的紫外线辐射的强度包括：将所测量的强度传输至故障检测和分类FDC系统，其中，FDC系统确定所发出的紫外线辐射的所监控的强度是否能满足阈值。

其中，当所发出的紫外线辐射的所监控的强度不能满足阈值时，调节曝光包括以下步骤中的一个：当所发出的紫外线辐射的所监控的强度大于阈值强度时，调节曝光；当所发出的紫外线辐射的所监控的强度小于阈值强度时，调节曝光；以及当所发出的紫外线辐射的所监控的强度落在阈值范围外部时，调节曝光。

附图说明