[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；

第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，所述第二反射膜隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；以及

第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上，

其中，所述第一基板具有：

第一反射膜固定面，设置有所述第一反射膜；以及

第一电极面，设置有所述第一电极，所述第一电极面与所述第二基板的距离不同于所述第一反射膜固定面与所述第二基板的距离，

在所述第一反射膜固定面和所述第一电极面的与所述第二基板的距离大的面上，设置层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的层叠部。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，还具备：

第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，隔着比所述反射膜间间隙大的电极间间隙与所述第一电极相对，

其中，所述层叠部构成为层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的外周边缘，所述第一反射膜从所述第一反射膜固定面延伸至覆盖所述第一电极面的一部分。

3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述层叠部构成为在所述第一电极上层叠所述第一反射膜。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，还具备：

与所述第二反射膜连接的反射膜连接电极。

5.一种光模块，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的波长可变干涉滤波器；以及

检测部，用于检测由所述波长可变干涉滤波器取出的光。

6.根据权利要求5所述的光模块，其特征在于，

所述波长可变干涉滤波器具备与所述第二反射膜连接的反射膜连接电极，

所述光模块具备使所述反射膜连接电极与所述第一电极成为等电位的电压控制部。

7.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求5或6所述的光模块。