[发明专利]碳化硅材料腐蚀炉

权利要求书

1.一种碳化硅材料腐蚀炉，包括：

一主体加热炉，为耐热陶瓷构成的上端开口的中空圆柱体，内壁面有隔热材料，外壁面为不锈钢材料，耐热陶瓷内埋设有电炉丝；

一镍质炉盖，位于主体加热炉的开口上方；

一镍坩埚，位于主体加热炉内；

一镍篮旋转装置，位于主体加热炉的上方；

一镍篮，位于镍坩埚内，其上端与镍篮旋转装置连接，用于承载样品；

一温控装置，安装在主体加热炉之外。

2.根据权利要求1所述的碳化硅材料腐蚀炉，其中镍篮旋转装置包括：

一固定轴，固定在主体加热炉的侧壁上方；

一固定支架，一端与固定轴连接，另一端与固定轴成90度伸入到主体加热炉的上方；

一微型防爆电机，位于固定支架上，并与主体加热炉的中心对准，该微型防爆电机的轴端与镍篮连接。

3.根据权利要求1所述的碳化硅材料腐蚀炉，其中温控装置包括：一温度显示仪、一控温仪和一热电偶，该热电偶沿主体加热炉1的侧壁伸入到镍坩埚内。

4.根据权利要求1所述的碳化硅材料腐蚀炉，其中所述镍质炉盖为水平对开结构，其是沿固定轴在水平方向开合，方便样品的取送。

5.根据权利要求1所述的碳化硅材料腐蚀炉，其中所述镍篮为矩形，其底部开有若干窄矩形槽，用来放置样品。

6.根据权利要求2所述的碳化硅材料腐蚀炉，其中微型防爆电机离主体加热炉的炉口的距离大于15厘米。

7.根据权利要求3所述的碳化硅材料腐蚀炉，其中所述热电偶的外壳为镍材料制成，可以直接放到实验液体中读取温度数据。