[发明专利]一种晶体硅太阳电池烧结装置无效
申请号: | 201210104873.8 | 申请日: | 2012-04-11 |
公开(公告)号: | CN103367199A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 朱旭东;刘峰;何金华 | 申请(专利权)人: | 无锡嘉瑞光伏有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 214231 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 太阳电池 烧结 装置 | ||
技术领域
本发明属于新能源领域,具体涉及一种晶体硅太阳电池烧结装置。
背景技术
一般而言,传统的晶体硅太阳电池制作工艺包含将银浆和铝浆分别印刷到硅片上下表面,然后通过快速高温烧结使之与硅片形成良好的欧姆接触,金属与硅片形成欧姆接触的机理在于一定温度条件下,金属和硅到达共熔相,其中硅片背面铝硅共熔温度约577℃,正面银硅共熔温度超过760℃,太阳电池的电极烧结一般采用链式高温炉,温度由炉体内的一排灯管热辐射提供,传统的烧结条件硅片上下表面温度基本相同,其缺点在于不能使上下电极的烧结效果同时到达最优化。
发明内容
发明目的:本发明针对现有技术的不足,提供一种可以上下分别控制温度的晶体硅太阳电池烧结装置。
技术方案:为了达到上述目的,本发明具体是这样实现的:一种晶体硅太阳电池烧结装置,包括有太阳能电池片,太阳能电池片安放在链式网带上,太阳能电池片的上方为上区加热灯管,下方为下区加热灯管,上区加热灯管和下区加热灯管互相独立控制温度,分别控制太阳能电池片上方和下方的温度,链式网带的两端安装有传动轴承,传动轴承带动链式网带使太阳能电池片移动。
有益效果:本发明通过分别控制烧结炉高温区上下灯管的加热功率,使得太阳能电池片经过烧结炉的高温区时上下表面暴露在不同的温度下,从而使太阳能电池片的上下表面的烧结效果同时被最优化,进一步提高了产品的质量。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
如图所示本发明的具体实施方式是这样的:一种晶体硅太阳电池烧结装置,包括有太阳能电池片4,太阳能电池片4安放在链式网带3上,太阳能电池片4的上方为上区加热灯管1,下方为下区加热灯管2,上区加热灯管1和下区加热灯管2互相独立控制温度,分别控制太阳能电池片4上方和下方的温度,链式网带3的两端安装有传动轴承5,传动轴承5带动链式网带3使太阳能电池片4移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造