[发明专利]基于倾斜波导光栅结构的高偏振消光比的光波导谐振腔

权利要求书

1.一种基于倾斜波导光栅结构的高偏振消光比光波导谐振腔，其特征在于在光波导芯片（1）本体上设有输入/输出光通路（2）与谐振环（3）；输入/输出光通路（2）的两端位于光波导芯片（1）的边缘；谐振环（3）与输入/输出光通路（2）通过输入/输出耦合器（5）相连，构成反射式光波导谐振腔；谐振环（3）上刻蚀有倾斜波导光栅（4）；倾斜波导光栅（4）的反射界面与光线传输方向的夹角                                                ，其中n₁为光波导芯片（1）包层部分的折射率，n₂为光波导芯片（1）芯层部分的折射率；倾斜波导光栅（4）的刻蚀深度大于零且小于光波导芯片（1）芯层厚度。

2.一种基于倾斜波导光栅结构的高偏振消光比光波导谐振腔，其特征在于在光波导芯片（6）本体上设有输入光通路（7）、输出光通路（8）与谐振环（9）；输入光通路（7）的两端位于光波导芯片（6）的一侧边缘；输出光通路（8）的两端位于光波导芯片（6）的另一侧边缘；谐振环（9）位于输入光通路（7）与输出光通路（8）之间，谐振环（9）一侧通过输入耦合器（12）与输入光通路（7）相连、谐振环（9）另一侧通过输出耦合器（13）与输出光通路（8）相连，构成透射式光波导谐振腔；谐振环（9）的两臂分别刻蚀有第一倾斜波导光栅（10）、第二倾斜波导光栅（11）；第一倾斜波导光栅（10）和第二倾斜波导光栅（11）的反射界面与光线传输方向的夹角，其中n₁为光波导芯片（6）包层部分的折射率，n₂为光波导芯片（6）芯层部分的折射率；第一倾斜波导光栅（10）和第二倾斜波导光栅（11）的刻蚀深度大于零且小于光波导芯片（6）芯层厚度。