[发明专利]可变偏振照明系统

权利要求书

1.一种可变偏振照明系统，包括激光光源、偏振片、法拉第旋光装置、匀光模块、掩膜和高数值孔径物镜，其中线偏振光的旋转角度                                                满足以下公式：

其中是维尔德常数，为磁感强度，为光通过的介质的厚度，n为法拉第旋光装置的线圈匝数，为真空磁导率，I为电流强度；

通过调整施加到所述法拉第旋光装置中线圈上的电流强度调整线偏振光的偏振角度。

2.根据权利要求1所述的可变偏振照明系统，其中，所述掩膜设置有线条，穿过所述法拉第旋光装置的线偏振光的偏振角度平行于所述掩膜上的线条。

3.根据权利要求1所述的可变偏振照明系统，其中，所述偏振片的偏振方向与所述激光光源发出的光的偏振方向相同。

4.根据权利要求1或3所述的照明系统，其中，从所述激光光源出射的是S偏振光，所述偏振片为S方向偏振片。

5.根据权利要求1所述的可变偏振照明系统，其中，所述材料为稀土玻璃。

6.根据权利要求1所述的可变偏振照明系统，其中，所述法拉第旋光装置被放置于光束测量调节模块中。

7.根据权利要求1所述的可变偏振照明系统，其中，所述激光光源为准分子激光器。