[发明专利]一种多片盒升降旋转系统有效
| 申请号： | 201210102311.X | 申请日： | 2012-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103367222A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李正贤;丁天祥 | 申请（专利权）人： | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多片盒 升降 旋转 系统 | ||
1.一种多片盒升降旋转系统，其特征在于，包括：
旋转机构，所述旋转机构由旋转驱动装置驱动；
若干升降机构，环绕固定在所述旋转机构的外缘；
其中，每一个升降机构底部设置有升降驱动装置，所述升降驱动装置顶部放置片盒。
2.根据权利要求1所述的多片盒升降旋转系统，其特征在于，所述旋转机构为正八边形柱体结构。
3.根据权利要求1或2所述的多片盒升降旋转系统，其特征在于，所述片盒的数量为8个。
4.根据权利要求1所述的多片盒升降旋转系统，其特征在于，所述旋转驱动装置包括DDR马达。
5.根据权利要求1所述的多片盒升降旋转系统，其特征在于，所述升降驱动装置包括伺服马达。
6.一种控制系统，用于控制权利要求1至5中任意一项所述的多片盒升降旋转系统，包括：
马达控制系统，用于控制所述多片盒升降旋转系统的旋转驱动装置和升降驱动装置；
信号处理系统，具有用于检测故障的传感器和手动按钮，若检测到故障或触发按钮，则通过警报装置发出警报，并发送指令至所述马达控制系统，使所述旋转驱动装置和升降驱动装置停止工作。
7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述马达控制系统具有编码器，用于控制所述旋转驱动装置旋转精度。
8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述警报装置包括LED警示灯以及蜂鸣器。
9.一种多片盒检测装置，包括机架，其特征在于，包括：
扫描工作台，设置在所述机架的一端，所述扫描工作台上设置有升降机构；
权利要求1至5中任意一项所述的多片盒升降旋转系统，设置在所述机架的另一端；
传输台，设于所述扫描工作台与所述多片盒升降旋转系统之间，所述传输台上安装有取片机械手；
上片台，设于所述传输台旁，用于放置未检测基片。
10.根据权利要求9所述的多片盒检测装置，其特征在于，所述机械手包括上片手臂和下片手臂。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
