[发明专利]真空测温热电偶装置

权利要求书

1.一种真空测温热电偶装置，其特征在于，包括：热电偶和波纹管装置，所述波纹管装置套设在热电偶冷端的外围。

2.如权利要求1所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述波纹管装置包括：波纹管、第一法兰和第二法兰，所述波纹管的两端分别与第一法兰和第二法兰密封焊接。

3.如权利要求2所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述波纹管装置还包括：使第二法兰轴向运动的限位杆，所述限位杆位于所述第一法兰和第二法兰之间，并与第一法兰过盈固定连接，与第二法兰间隙配合或直接贯穿连接。

4.如权利要求3所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述限位杆至少为两件，每两个限位杆之间成180°均匀分布在第二法兰周围。

5.如权利要求2所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述波纹管为金属材质。

6.如权利要求1-5所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述第一法兰套设于所述热电偶，与热电偶无接触连接；所述第二法兰与热电偶焊接或插接。

7.如权利要求6所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述热电偶为铠装热电偶。

8.如权利要求2所述的真空测温热电偶装置，其特征在于，所述第一法兰与所述波纹管的焊接处设置一个用来测量第二法兰位移量的百分表。