[发明专利]一种用于蓝宝石衬底的研磨液及其制备方法

权利要求书

1.一种用于蓝宝石衬底的研磨液，其特征在于：该研磨液按每10升混合溶剂∶1～4升添加剂∶200～1200克混合研磨粉的配比关系混合而成；

所述的混合溶剂由去离子水和甘油组成，去离子水和甘油的体积比为100∶1～10；

所述的添加剂的成分包括质量百分比为55-70％的去离子水、10-28％的三乙醇胺、2-6％的十二烷基硫酸钠和3-18％的丙烯酸聚合物；

所述的混合研磨粉为辅助研磨粉与金刚石微粉的混合物，辅助研磨粉与金刚石微粉的质量比为3∶10～60，辅助研磨粉为碳化硅、碳化硼和刚玉中一种或两种或三种的组合。

2.如权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底的研磨液，其特征在于：所述的混合研磨粉中辅助研磨粉和金刚石微粉的颗粒大小为2～4微米。

3.一种如权利要求1所述的用于蓝宝石衬底的研磨液的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)制备混合研磨粉将辅助研磨粉和金刚石微粉按质量比为3∶10～60的比例采用螺旋带式混合机进行充分混合，得到混合研磨粉，所述辅助研磨粉为碳化硅、碳化硼和刚玉中一种或两种或三种的组合；

制备混合溶剂将去离子水和甘油按体积比为100∶1～10的比例混合，并且充分搅拌均匀得到混合溶剂；

制备添加剂由质量百分比为55-70％的去离子水、10-28％的三乙醇胺、2-6％的十二烷基硫酸钠和3-18％的丙烯酸聚合物混合而成；

(2)将所制备的混合研磨粉、混合溶剂和添加剂再进行混合并搅拌均匀得到研磨液。

4.如权利要求3所述用于蓝宝石衬底的研磨液的制备方法，其特征是：所述的混合研磨粉中辅助研磨粉和金刚石微粉的颗粒大小为2～4微米。