[发明专利]金属-氧化物-金属电容器

权利要求书

1.一种金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，包括呈堆叠关系的多个金属层以及填充于金属层中的电介质；其中，每个金属层上形成有第一电极和第二电极，所述第一电极包含第一指状条和用于连接所有第一指状条的第一汇总条，所述第二电极包含第二指状条和用于连接所有第二指状条的第二汇总条，所述第二指状条与第一指状条交叉放置且最外侧的指状条为第二指状条；不同金属层的第一电极通过第一汇总条中的堆叠通孔连接，不同金属层的第二电极通过第二汇总条以及最外侧的第二指状条中的堆叠通孔连接。

2.如权利要求1所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述多个金属层包括底层金属层。

3.如权利要求1或2所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述多个金属层包括钽、钨、钛、铝和铜中的至少一种。

4.如权利要求1所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述电介质位于每层金属层的第一指状条之间和所述第二指状条之间。

5.如权利要求1或4所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述电介质为氧化硅、氟硅玻璃、氧化硅-氮化硅-氧化硅、五氧化二钽、氧化铪、氮氧化铪、钛酸锶钡、钛酸钡、钛酸锶、钛酸铅、锆钛酸铅、钛酸铅镧、氧化铝及铌酸锂中的至少一种。

6.如权利要求1所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述堆叠通孔以及第一电极和第二电极通过双镶嵌工艺形成。

7.如权利要求1或6所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述堆叠通孔中填充铜。

8.如权利要求1所述的金属-氧化物-金属电容器结构，其特征在于，所述多个金属层堆叠时，相邻两金属层的最外侧的第二指状条为单指状条结构和双指状条结构交替放置，所述最外侧的第二指状条中的堆叠通孔位于所述双指状条结构的最外侧指状条中。