[发明专利]束监控器件、方法和系统

权利要求书

1.一种束监控器件，包括：

一维(1D)轮廓仪，其中所述1D轮廓仪包括具有绝缘材料和导电材料的法拉第件；

二维(2D)轮廓仪，其中所述2D轮廓仪包括具有绝缘材料和导电材料的多个法拉第件；以及

控制臂，其中所述控制臂可操作地便于所述束监控器件在纵向方向上移动，并且所述控制臂可操作地便于所述束监控器件绕轴旋转。

2.根据权利要求1所述的束监控器件，其中，所述1D轮廓仪的所述法拉第件具有允许束通过的入口孔。

3.根据权利要求1所述的束监控器件，其中，所述2D轮廓仪的所述多个法拉第件中的每一个都具有入口孔和多个壁，所述多个壁向下延伸到所述导电材料中并至与所述入口孔相对的底面。

4.根据权利要求2所述的束监控器件，其中，所述1D轮廓仪的所述法拉第件的绝缘材料覆盖未被所述入口孔暴露出来的导电材料。

5.一种方法包括：

提供第一束监控器件和第二束监控器件，所述第一束监控器件包括第一1D轮廓仪和第一2D轮廓仪，以及所述第二束监控器件包括第二1D轮廓仪和第二2D轮廓仪，其中所述第一1D轮廓仪包括第一1D法拉第件，以及所述第一2D轮廓仪包括第一2D法拉第件，以及其中所述第二1D轮廓仪包括第二1D法拉第件，以及所述第二2D轮廓仪包括第二2D法拉第件；

扫描具有第一尺寸和第二尺寸的束，其中扫描所述束包括用所述第一1D法拉第件和所述第二1D法拉第件沿着第一尺寸扫描所述束，以及用所述第一2D法拉第件和第二2D法拉第件沿着第二尺寸扫描所述束；以及

用所述第一2D法拉第件和所述第二2D法拉第件扫描所述束的角度。

6.根据权利要求5所述的方法，进一步包括：

提供第三束监控器件和第四束监控器件，所述第三束监控器件包括第三1D轮廓仪和第三2D轮廓仪，以及所述第四束监控器件包括第四1D轮廓仪和第四2D轮廓仪，其中，所述第三1D轮廓仪包括第三1D法拉第件，以及所述第三2D轮廓仪包括第三2D法拉第件，以及其中，所述第四1D轮廓仪包括第四1D法拉第件，以及所述第四2D轮廓仪包括第四2D法拉第件；

扫描具有第一尺寸和第二尺寸的另一束，其中扫描所述另一束包括用所述第三1D法拉第件和所述第四1D法拉第件沿着第一尺寸扫描所述另一束，以及用所述第三2D法拉第件和所述第四2D法拉第件沿着第二尺寸扫描所述另一束；以及

用所述第三2D法拉第件和第四2D法拉第件扫描所述另一束的角度。

7.根据权利要求5所述的方法，进一步包括：

当所述束通过所述第一1D法拉第件的入口孔时和当所述束通过所述第二1D法拉第件的入口孔并落到设置在下面的法拉第件结构上时，扫描所述束的角度。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，沿着所述第一尺寸扫描所述束包括以彼此相对的方向移动所述第一束监控器件和所述第二束监控器件，以使所述第一束监控器件和所述第二束监控器件在所述束的中间相遇。