[发明专利]反射镜装置

权利要求书

1.一种反射镜装置，其具备用于在作为屏幕的面上扫描激光来投影图像的反射镜、安装有该反射镜的第一可动框、通过第一梁与该第一可动框相连接的第二可动框、以及通过第二梁与该第二可动框相连接的固定框，该反射镜装置的特征在于，

将形成在上述第一可动框上的梳齿电极与形成在上述第二可动框上的梳齿电极组合，通过形成在上述第二可动框上的梳齿电极与形成在上述固定框上梳齿电极的组合形成第一静电激励器，

在上述第一可动框和上述第二可动框的下方设置由倾斜电极构成的第二静电激励器，并且

通过上述第一激励器和上述第二激励器使上述反射镜向左右和上下进行动作。

2.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于，

上述反射镜利用由第一梁和第二梁形成的双轴进行旋转。

3.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于，

上述第二可动框、上述第一静电激励器通过具有弹性的悬臂梁支撑平行平板型静电激励器，

构成为通过上述平行平板型静电激励器进行动作，从而上述悬臂梁发生弹性变形，上述第二可动框以上述第二梁为轴进行旋转运动而倾斜，并且上述第二静电激励器的倾斜电极被形成为与上述第二可动框通过上述第二静电激励器的动作更接近倾斜时的最大倾斜大致相同的倾斜。

4.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于，

上述第一激励器为梳齿电极型静电激励器，处于上述第二可动框侧的梳齿电极和处于上述固定框侧的梳齿电极在高度方向上的位置存在偏移，

通过在其梳齿电极之间施加了电压时的静电力使上述第二可动框旋转，在超过了预定的旋转角度后，采用了倾斜的固定电极的上述第二静电激励器的力变大，来使上述反射镜旋转。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的反射镜装置，其特征在于，

在水平方向上进行驱动的激励器，其处于上述第一可动框侧的梳齿电极和处于上述第二可动框侧的梳齿电极在高度方向上的位置存在偏移，

上述激励器是通过在其梳齿电极之间施加了电压时的静电力使上述第一可动框旋转的静电激励器，利用以上述第一可动框和上述反射镜为一体的系统的谐振频率来进行驱动。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的反射镜装置，其特征在于，

上述反射镜、上述第一可动框以及上述第二可动框通过接合于上述固定框部的盖使空间被气密密封，

上述被气密密封的空间的压力为1000Pa以下。