[发明专利]一种多功能PVD镀膜机

权利要求书

1.一种多功能PVD镀膜机，包括真空室、设置在真空室内的导电工件转架、等离子电弧蒸发源和电弧电源，其特征在于，还包括脉冲偏压电源、中频溅射源、中频电源、气体离子源、离子源电源，所述脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源通过四组开关进行单独控制，脉冲偏压电源和等离子电弧蒸发源、中频溅射源、气体离子源都可以单独或协同工作。

2.如权利要求1所述的多功能PVD镀膜机，其特征在于，所述导电工件转架与真空室绝缘，真空室接地处于零电位，脉冲偏压电源阳极接真空室外壁，脉冲偏压电源阴极接所述导电工件转架，脉冲偏压电源输出为负偏压，偏压0～2000V可调，脉冲频率20K～50K Hz，占空比2％～95％可调。

3.如权利要求1所述的多功能PVD镀膜机，其特征在于，所述等离子电弧蒸发源与真空室绝缘，电弧电源阳极接真空室，阴极接等离子电弧蒸发源，所述电弧电源电压15～35V，电流25A～200A。

4.如权利要求1所述的多功能PVD镀膜机，其特征在于，所述气体离子源至少有一个由真空室外通入气体离子源内部的进气口，气体离子源阳极通过绝缘密封引出真空室外，气体离子源阴极与真空室接通，气体离子源阳极与真空室绝缘，离子源电源阳极与气体离子源阳极接通，离子源电源阴极与离子源阴极接通，离子源电源电压500～2000V，占空比2％～95％可调。

5.如权利要求1所述的多功能PVD镀膜机，其特征在于，真空室内设置两块中频溅射源，两者距离100～500mm，两块中频溅射源与真空室绝缘，分别互为阴阳极，电极各通过绝缘密封引出真空室外，中频电源两极分别接通中频溅射源两极，中频电源电压0～1000V，电流0～35A，频率20K～50K Hz。