[发明专利]线切割机及线切割机用槽道装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于切割半导体材料等的线切割机及线切割机用槽道装置。

背景技术

近年来，正在使用将由例如半导体材料、磁性材料、陶瓷等硬脆材料构成的工件通过行走的切割线切割的线切割机。

例如，专利文献1公开了一种脆性材料的切割装置，该切割装置配置为：在通过将向行走中的切割线供给油剂中混合有游离磨粒的加工液，并使附着有加工液的切割线按压在工件上，来将半导体材料等被切割部件切割成希望的形状的线切割机中，为了提高线切割机的切割精度及切割效率，将在加工液供给喷嘴的正下方的立式加工液储存部和具有使加工液在水平方向流出的狭缝状流出孔的水平整流部连通的倒T字形的狭缝喷嘴配置在切割线要刚刚进入被切割部件之前。

专利文献1：日本特开平5-212720号公报(平成5年8月24日公开)

但是，在上述现有切割装置中，存在下列问题。

上述公报公开的切割装置，仅仅只是意识到通过将倒T字形的狭缝喷嘴配置在切割线要刚刚进入被切割部件之前，使加工液直到切割线要进入被切割部件之前都能可靠地附着在切割线上，从而通过切割线将加工液引入切割部而构成的。因此，没有考虑附着在切割线上的加工液因与被切割部件的相对面的冲突而向周围飞溅，由于这样的加工液的飞溅及只是通过切割线的行走将加工液引入切割部的引入力不充分的理由，所以存在没有足够量的加工液进入切割部的问题。

另外，在对比文献1中，没有假设使倒T字形的狭缝喷嘴内空间的压力上升。

发明内容

本发明的课题在于提供一种线切割机及线切割机用槽道装置，其能够防止加工液向周围飞溅，并且将加工液充分地向工件的切割槽供给，从而提高切割性能。

第一发明的线切割机是一边向行走的切割线供给加工液，一边将工件按压在所述切割线上进行切割的线切割机，具备加工液供给部、移动机构。加工液供给部从切割线行走方向的上游侧对行走中的切割线供给加工液。移动机构使工件相对于行走中的切割线相对移动。加工液供给部具有加工液加压输送装置、槽道部件。加工液加压输送装置加压输送加工液。槽道部件以切割线通过其内部，并且其前端部接近工件而进行配置，将从连通的加工液加压输送装置加压输送来的加工液向切割线和工件的相对面的接触部供给。

在此，在以向行走中的切割线供给加工液并且以附着加工液的状态使切割线和工件接触而切割工件的线切割机中，采用如下构造：通过利用加工液加压输送装置和槽道部件将加工液向切割线与工件的相对面接触并且被引入工件开始切割的切割开始点供给，来向切割开始点的周围施加压力。

而且，附着在行走的切割线上的加工液与工件的相对面冲突时，由于在槽道部件内部被加压输送供给的加工液的作用，附着在行走的切割线上的加工液飞溅被抑制，并且被封在槽道部件的内部空间内。

由此，在切割开始点附近形成局部加工液压力高的局部压力上升部。

其结果是，通过施加在切割线开始切割工件的切割开始点的周围的压力和切割开始点附近产生的局部压力，切割开始点附近的加工液被压入由切割线形成的工件的切割槽内，能够比以往更多且更有效地供给加工液，能够提高切割性能。而且，抑制了加工液向周围飞溅，不会污损工件或加工室内。

第二发明在第一发明的基础上，线切割机还具备从槽道部件的前端部凸出的法兰部。

在此，在槽道部件中接近工件的部分上设有从管道部件的前端部凸出的法兰部。

由此，抑制了加工液从工件和槽道部件之间泄漏，切割开始点附近的加工液压力升高，因此，能够比现有线切割机更有效地使加工液进入工件的切割槽的内部。其结果能够防止加工液向周围飞溅，并且通过将加工液向切割槽充分供给来提高切割性能。

另外，从工件和槽道部件之间漏出的加工液掉在法兰的背后(上游侧)，从切割线列的外侧回收，能够防止污损工件或加工室内。

第三发明在第二发明的基础上，线切割机中，法兰部相对于工件的相对面平行配置。

在此，将为了防止加工液漏出而在槽道部件的前端部上设置的法兰部相对于工件的相对面平行地设置。

由此，加工液更加难以从槽道部件的前端和工件与导管部件相对的相对面的空隙泄漏，能够更有效地抑制加工液的飞溅。

第四发明在第二或第三发明的基础上，线切割机中，法兰部由与槽道部件相同的材料形成。

由此，能够通过折弯管道部件的前端部来形成法兰，制造容易。

第五发明在第一～第四发明中任一发明的基础上，线切割机中，在槽道部件的前端部上设有由弹性体或波纹管(折皱)组成的密封部件。