[发明专利]太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置

权利要求书

1.一种太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，包括：

外腔体(10)，其设有用于基片(100)进出的外腔体入口和外腔体出口，所述外腔体入口和外腔体出口上分别设有喷气隔离装置(11、12)；

位于所述外腔体(10)内的反应腔体(20)，其设有用于基片(100)进出的反应腔体入口和反应腔体出口，所述反应腔体入口和反应腔体出口上分别设有喷气隔离装置(21、22)，所述反应腔体(20)上设有硒蒸汽管(40)、硫蒸汽管(50)和排清气体输送管(60)；

置于所述反应腔体(20)外的多个加热器(23)；

包覆在所述反应腔体(20)外的热反射层(30)，所述加热器(23)位于所述反应腔体(20)和热反射层(30)之间；以及

输送基片(100)进出所述反应腔体(20)的输送机(101)。

2.如权利要求1所述的太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，所述外腔体(10)上设置有抽气口(13)。

3.如权利要求1或2所述的太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，所述加热器(23)为电阻加热丝或红外灯管。

4.如权利要求1或2所述的太阳能电池基片的硒化与硫化反应装置，其特征在于，所述反应腔体(20)采用不锈钢、碳钢、铝、石墨、石英玻璃和陶瓷的其中一种材料制成。