[发明专利]具有通过常温真空接合而接合的振动部的振动执行机构

权利要求书

1.一种振动体，具有：

电力机械能量转换元件；

与该电力机械能量转换元件接合，通过该电力机械能量转换元件的变形而被驱动的弹性体，

所述电力机械能量转换元件和所述弹性体通过金属结合而接合。

2.如权利要求1所述的振动体，其特征在于：

基于所述金属结合的接合为真空接合。

3.如权利要求2所述的振动体，其特征在于：

所述真空接合为常温真空接合。

4.如权利要求3所述的振动体，其特征在于：

所述常温真空接合为基于表面活性化的接合。

5.如权利要求1所述的振动体，其特征在于：

对所述电力机械能量转换元件和所述弹性体的某一方实施金属电镀，所述金属电镀部分与另一方之间通过所述金属结合被接合。

6.如权利要求1所述的振动体，其特征在于：

在所述电力机械能量转换元件和所述弹性体之间夹置金属箔，所述电力机械能量转换元件和所述金属箔及所述弹性体和所述金属箔之间通过所述金属结合被接合。

7.如权利要求1所述的振动体，其特征在于：

基于所述金属结合的接合是在所述电力机械能量转换元件和所述弹性体之间施加了压力的状态下进行的。

8.一种振动执行机构，具有权利要求1所述的振动体。

9.一种透镜镜筒，具有权利要求8所述的振动执行机构。

10.一种照相机，具有权利要求9所述的透镜镜筒。

11.一种振动体的接合方法，其特征在于，具有：电力机械能量转换元件；与该电力机械能量转换元件接合、且通过该电力机械能量转换元件的变形而被驱动的弹性体，通过金属结合对所述电力机械能量转换元件和所述弹性体进行接合。

12.如权利要求11所述的振动体的接合方法，其特征在于：

基于所述金属结合的接合为真空接合。

13.如权利要求12所述的振动体的接合方法，其特征在于：所述真空接合为常温真空接合。

14.如权利要求13所述的振动体的接合方法，其特征在于：所述常温真空接合为基于表面活性化的接合。

15.如权利要求11所述的振动体的接合方法，其特征在于：

在进行基于所述金属结合的接合前，

对所述电力机械能量转换元件和所述弹性体的某一方实施金属电镀，

通过基于所述金属结合的接合对所述金属电镀部分和另一方之间进行接合。

16.如权利要求11所述的振动体的接合方法，其特征在于：在进行基于所述金属结合的接合前，

在所述电力机械能量转换元件和所述弹性体之间夹置金属箔，通过所述金属结合对所述电力机械能量转换元件和所述金属箔及所述弹性体和所述金属箔之间进行接合。

17.如权利要求11所述的振动体的接合方法，其特征在于：

基于所述金属结合的接合是在所述电力机械能量转换元件和所述弹性体之间施加了压力的状态下进行的。

18.一种接合体，其特征在于：对第一被接合部件和第二被接合部件的某一方实施金属电镀，

所述某一方被实施了金属电镀的、所述第一被接合部件和所述第二被接合部件通过基于表面活性化的常温真空接合而被接合。

19.如权利要求18所述的接合体，其特征在于：

所述常温真空接合是在所述第一被接合部件和所述第二被接合部件之间施加了压力的状态下进行的。

20.一种接合方法，将第一被接合部件和第二被接合部件的接合，其特征在于，对所述第一被接合部件和所述第二被接合部件的某一方实施金属电镀，

所述某一方被实施了金属电镀的、所述第一被接合部件和所述第二被接合部件通过基于表面活性化的常温真空接合而被接合。

21.如权利要求20所述的接合方法，其特征在于：

所述常温真空接合是在所述第一被接合部件和所述第二被接合部件之间施加了压力的状态下进行的。