[发明专利]方块电阻测量方法以及方块电阻测量装置有效

专利信息
申请号: 201210093709.1 申请日: 2012-03-31
公开(公告)号: CN102621390A 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 韦敏侠;谢佳佳 申请(专利权)人: 上海宏力半导体制造有限公司
主分类号: G01R27/08 分类号: G01R27/08
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 方块 电阻 测量方法 以及 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种方块电阻测量方法,其特征在于包括:

在方块电阻的四边中分别连接第一测试点、第二测试点、第三测试点以及第四测试点;

依次设定多个参考电流值;

针对所有参考电流值,通过将参考电流值设置为强制电流值来计算方块电阻值,并且记录所计算的方块电阻值;

根据所记录的所有方块电阻值判断适合作为强制电流值的参考电流值,并将所述参考电流值设置为最终的强制电流值。

2.根据权利要求1所述的方块电阻测量方法,其特征在于,所述通过将参考电流值设置为强制电流值来计算方块电阻值的步骤中计算方块电阻值的方法包括:

在使流过第一测试点和第二测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第三测试点和第四测试点之间的第一电压值;

在使流过第二测试点和第三测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第四测试点和第一测试点之间的第二电压值;

在使流过第三测试点和第四测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第一测试点和第二测试点之间的第三电压值;

在使流过第四测试点和第一测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第二测试点和第三测试点之间的第四电压值;

利用下面的式子计算方块电阻值:方块电阻值=4.5324×(第一电压值+第二电压值+第三电压值+第四电压值)/4/强制电流值。

3.根据权利要求1或2所述的方块电阻测量方法,其特征在于,在每次测量方块电阻值,取多个测量对象,并且根据每个测量对象的方块电阻值绘制曲线,最后,根据方块电阻值曲线的稳定性来选择最终的强制电流值。

4.根据权利要求3所述的方块电阻测量方法,其特征在于,将曲线波动范围小的曲线设置为最终的强制电流值。

5.一种方块电阻测量装置,其特征在于包括:

与方块电阻的四边分别连接的第一测试点、第二测试点、第三测试点以及第四测试点;

参考电流值设置模块,用于依次设定多个参考电流值;

方块电阻值计算模块,用于针对所有参考电流值,通过将参考电流值设置为强制电流值来计算方块电阻值,并且记录所计算的方块电阻值;

强制电流值判断模块,用于根据所记录的所有方块电阻值判断适合作为强制电流值的参考电流值,并将所述参考电流值设置为最终的强制电流值。

6.根据权利要求5所述的方块电阻测量装置,其特征在于,所述方块电阻值计算模块执行下述步骤:

在使流过第一测试点和第二测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第三测试点和第四测试点之间的第一电压值;

在使流过第二测试点和第三测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第四测试点和第一测试点之间的第二电压值;

在使流过第三测试点和第四测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第一测试点和第二测试点之间的第三电压值;

在使流过第四测试点和第一测试点之间的电流大小为所设定的强制电流值的情况下,测量第二测试点和第三测试点之间的第四电压值;

利用下面的式子计算方块电阻值:方块电阻值=4.5324×(第一电压值+第二电压值+第三电压值+第四电压值)/4/强制电流值。

7.根据权利要求5或6所述的方块电阻测量装置,其特征在于,所述方块电阻值计算模块在每次测量方块电阻值时,取多个测量对象,并且根据每个测量对象的方块电阻值绘制曲线,并且其中所述强制电流值判断模块根据方块电阻值曲线的稳定性来选择最终的强制电流值。

8.根据权利要求7所述的方块电阻测量装置,其特征在于,所述强制电流值判断模块将曲线波动范围小的曲线设置为最终的强制电流值。

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