[发明专利]一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法

权利要求书

1.一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法，其特征在于：

包括以下步骤：

(1)将压阻式微悬臂梁浸没于密度已知为ρ₁标准流体中，然后通过第一和第二焊盘(1、2)给压阻式微悬臂梁的激励线圈(9)提供一个频率为f和幅值为U1的正弦交流电，惠斯通电桥(8)通过第三、第五和第六焊盘(3、5、6)供给恒流电源，并使用锁相放大器通过第四和第七焊盘(4、7)测量惠斯通电桥(8)的输出，结果为V₁；

(2)再通过第一和第二焊盘(1、2)给压阻式微悬臂梁的激励线圈(9)提供一个频率仍为f但幅值为U₂的正弦交流电，并使用锁相放大器测量惠斯通电桥(8)的输出，结果为V₂；

(3)通过升温或者降温改变先前标准流体的密度到ρ₂，然后通过第一和第二焊盘(1、2)给压阻式微悬臂梁的激励线圈(9)提供一个频率仍为f和幅值为U₁的正弦交流电，并使用锁相放大器测量惠斯通电桥(8)的输出，结果为V₃；

(4)再通过第一和第二焊盘(1、2)给压阻式微悬臂梁的激励线圈(9)提供一个频率仍为f但幅值为U₂的正弦交流电，并使用锁相放大器测量惠斯通电桥(8)的输出，结果为V₄；

(5)根据以上测量结果以及密度工作方程ρ＝ak+b，确定密度工作方程中的待定参数a和b，此处，k为激励线圈(9)改变电压前后的惠斯通电桥(8)输出差值与激励线圈改变电压前后差值的比值，即k₁＝(V₁-V₂)/(U₁-U₂)，k₂＝(V₃-V₄)/(U₁-U₂)，联立方程ρ₁＝ak₁+b和ρ₂＝ak₂+b，即可唯一确定待定参数a和b；

(6)将压阻式微悬臂梁浸没于待测流体中，然后通过第一和第二焊盘(1、2)给压阻式微悬臂梁的激励线圈(9)提供一个频率仍为f和幅值为U₁的正弦交流电，并使用锁相放大器测量惠斯通电桥(8)的输出，结果为V₅；再通过第一和第二焊盘(1、2)给压阻式微悬臂梁的激励线圈(9)提供一个频率仍为f但幅值为U₂的正弦交流电，并使用锁相放大器测量惠斯通电桥(8)的输出，结果为V₆；根据这些测量结果确定k₃值，k₃＝(V₅-V₆)/(U₁-U₂)，然后根据密度工作方程ρ＝ak+b即可确定待测流体的密度。