[发明专利]基板处理方法有效
| 申请号： | 201210091861.6 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102737942A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 桧森慎司;山田纪和;大瀬刚 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：
内部被减压的处理室；
配置在该处理室内、载置基板的载置台；
施加频率比较高的高频电压的第一高频电源；
对所述载置台施加频率比较低的高频电压的第二高频电源；和
对所述载置台施加矩形波状的直流电压的直流电压施加单元。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：
还具备连接切换开关，该连接切换开关能够将所述直流电压施加单元和所述第二高频电源与所述载置台连接/分离。
3.如权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于：
还具备低通滤波器，该低通滤波器将来自所述第一高频电源的所述频率比较高的高频电压遮断，
所述第一高频电源与所述载置台连接，
所述低通滤波器插入在所述第一高频电源和所述第二高频电源之间，以及插入在所述第一高频电源和直流电压施加单元之间。
4.如权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于：
还具备相对电极，该相对电极配置在所述处理室内，与所述载置台相对，
所述第一高频电源与所述相对电极连接。
5.如权利要求1～4中任一项所述的基板处理装置，其特征在于：
所述比较高的频率是40MHz～300MHz，所述比较低的频率是380KHz～20MHz，所述直流电压的矩形波状的频率是3MHz以下。
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