[发明专利]一种投影物镜光学系统

权利要求书

1.一种投影物镜光学系统，从物面到像面依次包括：第一透镜组，其光焦度为正；第二透镜组，其光焦度为负；第三透镜组，其光焦度为正；第四透镜组，其光焦度为负；第五透镜组，其光焦度为正；以及光阑，位于第五透镜组之间；其特征在于，该投影物镜系统的有效焦距f、该物面至像面的距离L满足以下条件：

。

2.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述投影物镜光学系统至少包括两种光学材料，一种是在工作波长处折射率大于1.6的高折射率材料，一种是在工作波长处折射率小于1.6的低折射率材料。

3.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述第一透镜组包括具有负光焦度的第一子透镜组，该第一子透镜组至少包括一片负透镜，该负透镜的前表面为非球面；以及具有正光焦度的第二子透镜组，该第二子透镜组至少包括三个透镜。

4.根据权利要求3所述的投影物镜光学系统，其中，所述第一透镜组中第一子透镜组中的负透镜的材料为低折射率材料，所述第一透镜组中的第二子透镜组中至少有一个透镜的材料为高折射率材料。

5.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述第二透镜组至少包括三片负透镜。

6.根据权利要求5所述的投影物镜光学系统，其中，所述第二透镜组中的负透镜至少有两个的材料为高折射率材料。

7.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述第三透镜组至少包括三片正透镜。

8.根据权利要求7所述的投影物镜光学系统，其中，所述第三透镜组中至少有一个正透镜的材料是高折射率材料。

9.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述第四透镜组至少包括三片负透镜，最后一个透镜的后表面为非球面。

10.根据权利要求9所述的投影物镜光学系统，其中，所述第四透镜组中至少有两个负透镜的材料是高折射率材料。

11.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述第五透镜组的第一子透镜组中最靠近光阑的正透镜的前表面弯向光阑，其弯曲顶点远离光阑，曲率半径为正值，后表面弯向光阑，其弯曲顶点靠近光阑，且曲率半径大于该前表面的曲率半径。

12.根据权利要求11所述的投影物镜光学系统，其中，所述第五透镜组的光阑前透镜均为正透镜；该第五透镜组光阑后透镜中包括至少三片负透镜，该负透镜曲率半径R满足1/R〉-1/300。

13.根据权利要求11所述的投影物镜光学系统，其中，所述第五透镜组中第二子透镜组具有非球面表面的负透镜的口径不小于0.93Dmax，Dmax为最大镜片口径。

14.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，还包括第一、第二、第三平板，分别位于所述物面与第一透镜组之间、所述光阑与第五透镜组的第一块镜片之间、以及所述第五透镜组与像面之间。

15.根据权利要求14所述的投影物镜光学系统，其中，所述第一、第三平板作为保护玻璃，避免内部光学镜片受外界影响。

16.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，投影物镜的物方工作距离>45mm，像方工作距离>12mm，所成像与光轴的夹角<5mrad。

17.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，所述光阑处由各个视场发出的光束最大口径之差与中心视场发出的光束的最大口径之比<1%。

18.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，投影物镜光学系统的像方数值孔径大于0.65。

19.根据权利要求1所述的投影物镜光学系统，其中，投影物镜系统的有效焦距f、该物面至像面的距离L满足以下条件：0.15<|L/f|<0.35 。