[发明专利]无源式交流电流感测器

权利要求书

1.一种无源式交流电流感测器，用于感测一载流导体的电流，该无源式交流电流感测器包括：

一基板，具有一弹性结构层；

一磁性体，对应该载流导体设置于该基板的一侧；

至少一线圈，设置于该基板，该线圈对应环绕该磁性体；以及

一第一测量电路，与该线圈连接；

其中，当该磁性体受到该载流导体磁场的作用而与该线圈相对运动时，该线圈产生一感应电动势，该第一测量电路测量该感应电动势，并据以输出一第一感测信号。

2.如权利要求1所述的无源式交流电流感测器，其中该基板为单晶硅基板。

3.如权利要求1所述的无源式交流电流感测器，其中该弹性结构层为悬浮结构层。

4.如权利要求1所述的无源式交流电流感测器，其中该线圈由金属薄膜构成。

5.如权利要求1所述的无源式交流电流感测器，还包括：

一绝缘层，设置于该基板与该线圈之间。

6.如权利要求1所述的无源式交流电流感测器，还包括：

一信号传送单元，与该第一测量电路连接。

7.如权利要求6所述的无源式交流电流感测器，还包括：

一压电元件，设置于该基板；

其中，该压电元件、该磁性体及该弹性结构层构成一压电式能量获取器，当该磁性体受到该载流导体磁场的作用而产生静磁力施力于该弹性结构层，该弹性结构层产生的应力作用使该压电元件两端产生电位差，以提供能量予该信号传送单元。

8.如权利要求1所述的无源式交流电流感测器，还包括：

一压电元件，设置于该基板；以及

一第二测量电路，连接该压电元件，当该磁性体受到该载流导体磁场的作用而产生静磁力施力于该弹性结构层，该弹性结构层产生的应力作用使该压电元件两端产生电位差，该第二测量电路测量该压电元件两端的电位差，并依据该压电元件的电位差输出一第二感测信号。

9.如权利要求7述的无源式交流电流感测器，其中该压电元件由压电薄膜构成。

10.如权利要求8所述的无源式交流电流感测器，其中该压电元件由压电薄膜构成。