[发明专利]一种大电流密度的钡钨阴极及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201210090817.3 申请日: 2012-03-30
公开(公告)号: CN102637566A 公开(公告)日: 2012-08-15
发明(设计)人: 吴华夏;邓清东;贺兆昌;宋田英;张丽 申请(专利权)人: 安徽华东光电技术研究所
主分类号: H01J23/04 分类号: H01J23/04;H01J9/02;B22F7/04
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 张小虹
地址: 241000 安徽省芜湖*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 电流密度 阴极 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种大电流密度的钡钨阴极,其特征在于:所述的钡钨阴极包括阴极钼筒(3)和填充在阴极钼筒(3)内的双层基底,所述的双层基底包括上层和下层,上层是采用圆球形状的钨粉做为基底材料压制而成的球形钨粉层(1),下层是采用钨粉与铼粉混合做为基底材料压制而成的钨铼合金层(2)。

2.根据权利要求1所述的一种大电流密度的钡钨阴极,其特征在于:所述的上层球形钨粉的粒径是2μm~10μm。

3.根据权利要求1或2所述的一种大电流密度的钡钨阴极,其特征在于:所述的钨铼合金层(2)中的钨粉和铼粉按照10%~50%∶90%~50%的比例混合均匀。

4.根据权利要求3所述的一种大电流密度的钡钨阴极,其特征在于:所述的上层球形钨粉的粒径优选为4μm。

5.根据权利要求4所述的一种大电流密度的钡钨阴极,其特征在于:所述的钨铼合金层(2)中的钨粉和铼粉的配比优选为20%∶80%。

6.一种用于制备权利要求1-5任一项权利要求所述的大电流密度的钡钨阴极的方法,其特征在于:所述的制备方法包括,

1)取任意形状的、颗粒度小于50μm的钨粉和铼粉在氢气中净化退火,在800℃~950℃环境中保温20min~30min;

2)将净化后的钨粉和铼粉按照10%~50%∶90%~50%的比例混合均匀,制备出钨铼合金粉料;

3)取粒径2μm~10μm、类似圆球形状的球形钨粉,在氢气中净化退火,800℃~950℃环境中保温20min~30min;

4)称取适量球形钨粉,填充在阴极钼筒(3)中,并使粉料平实;

5)再称取适量钨铼混合粉料,填充在步骤4)后的阴极钼筒(3)中,并使粉料平实;

6)使用8~15T/cm2的压力对阴极进行压制,将阴极基底的孔度控制在28%~40%;

7)在氢气中对压制后的阴极进行烧结,1400℃~1600℃环境中保温30~70min;

8)采用3.5BaCO3·0.5CaCO3·2Al的铝酸盐在露点低于-60℃的干燥氢气中对烧结后的阴极进行浸渍,浸渍工艺是在1250℃~1300℃时保温7min~12min,然后在2min之内升至1740℃~1780℃,保温30s~70s,随后降温;

9)去除阴极表面多余的阴极盐,并根据图纸尺寸进行机械加工;

10)使用氮气做为介质,对阴极表面进行离子刻蚀清洗,使阴极发射表面露出新鲜的开孔。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于:所述的上层球形钨粉的粒径优选为4μm。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于:所述的钨铼合金层(2)中的钨粉和铼粉的配比优选为20%∶80%。

9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于:所述的阴极基底的孔度优选控制在33%~35%。

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