[发明专利]基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及即便在用一个机械臂一次搬送多个基板的情况下也能使各基板的温度历史记录相同，能够防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。

背景技术

在搬送各种基板的同时进行干燥处理或热处理的处理设备中，为了防止处理产生不均，提出了各种方案。例如，专利文献1的“抗蚀液涂敷处理装置”的课题在于提供一种抗蚀液涂敷处理装置，能够消除因基板背面与其他部件接触而产生的接触转印不均、干燥不均，该抗蚀液涂敷处理装置具备：对表面涂敷了抗蚀液的基板进行减压干燥的减压干燥机、对上述减压干燥后的基板进行加热而使上述抗蚀液固化的烘焙装置、以及在减压干燥机与上述烘焙装置之间搬送基板的搬送机器人。在上述搬送机器人中，按照从下侧载置前述基板的状态支承该基板的搬送手配置为手主体、隔热部、和手表面部成层叠状态，上述隔热部使上述基板与上述手主体之间隔热，上述手表面部由热传导率比上述隔热部高的材料构成并具有支承基板的突起。

专利文献1：日本特开2008-166623号公报

对于基板而言，有从等离子显示面板中使用的大型且厚的基板到便携终端(例如智能手机等)的触摸面板等中使用的小型且超薄的基板。

在进行大量生产时，在等离子显示面板用的玻璃基板中采用下述方法，即，在对约2m×2m这样大尺寸的基板实施加工处理之后，将其切取为所需的小尺寸。与之相对，触摸面板用的玻璃基板为了使便携性方面更优越而追求轻型化，关于其厚度，相对于等离子显示面板用的约2mm而言，该触摸面板用的玻璃基板的厚度约为0.2mm，因此强度弱，与等离子显示面板用的玻璃基板不同，难以用大尺寸进行操作。

因此，为了高效地大量生产便携终端用的玻璃基板，需要同时搬送多个薄型的玻璃基板来进行处理。若考虑大量生产中的设备的自动化，优选搬送作业与操作等离子显示面板用的玻璃基板的情况同样利用机械臂。

因此，存在着在用一个机械臂一次搬送多个玻璃基板的情况下对玻璃基板实施的各种处理可能会产生不均的课题。

具体而言，在用一个机械臂操作被高温气氛的加热台加热处理后的多个玻璃基板时，机械臂通常为常温状态，在为了接收玻璃基板而进入高温气氛的加热台的阶段被加热。先进入加热台的机械臂的前端侧在较早的定时(timing)变热并开始升温，之后，后进入加热台的机械臂的基端侧以较迟的定时变热并开始升温。

因而存在下述课题：尽管在机械臂的前端侧和基端侧温度不同，但若机械臂同时接收多个玻璃基板，则前端侧的玻璃基板被交付至温度高的机械臂部分，基端侧的玻璃基板被交付至温度低的机械臂部分，因此在这些前端侧和基端侧的玻璃基板中温度历史记录会产生差，导致完成情况不均匀。

另外，这种情况下，若等待机械臂整体的温度收敛为一定温度之后交付玻璃基板，则存在搬送耗时长的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述现有的课题而完成的，其目的在于提供一种即便在用一个机械臂一次搬送多个基板的情况下也能使各基板的温度历史记录相同，能够防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。

本发明涉及的基板搬送装置具有机械臂，该机械臂能够在生产线中配备的加热台上进入上升后的基板之下，并通过该基板下降而接收该基板，然后该机械臂后退而沿着将该基板向下一个台搬送的水平方向移动，并且，该机械臂在其前端侧与基端侧之间，具有后进入该加热台的基端侧在比先进入该加热台的前端侧迟的定时升温的特性，在所述加热台上，将多个所述基板沿着所述机械臂的移动方向成列地排列配置，在所述加热台设置升降部件，该升降部件为了将这些基板举起到相同高度而上升，并且通过下降而将这些基板交付至所述机械臂，而且，在所述加热台具备定时调整部件，该定时调整部件为了在所述机械臂的温度上升过程中将多个所述基板以相同温度交付至该机械臂，而使这些基板向该机械臂的交付在该机械臂的前端侧先进行且在基端侧后进行。

其中，按照将这些基板分别单独地举起到相同高度而上升、且通过单独地下降而将这些基板分别交付至所述机械臂的方式，设置多个所述升降部件，所述定时调整部件是使位于所述机械臂的基端侧的所述升降部件比位于所述机械臂的前端侧的所述升降部件更迟地下降的升降部件控制装置。

其中，所述定时调整部件是为了使所述机械臂的基端侧上表面比该机械臂的前端侧上表面更远离所述基板，而在该机械臂上按照从基端侧上表面向前端侧上表面逐渐变高的方式倾斜设置的倾斜面。