[发明专利]有机电致发光显示装置的制造方法

权利要求书

1.有机电致发光显示装置的制造方法，该有机电致发光显示装置包括多个电致发光元件，该多个电致发光元件的每一个包括第一电极和第二电极和设置在第一电极和第二电极之间的有机化合物层，该有机化合物层至少包括发光层，该方法包括：

在其上设置有第一电极的基板上形成在水中不溶的有机化合物层；

在形成该有机化合物层的区域的一部分中设置含有水溶性材料的掩模层；

将没有设置该掩模层的区域中形成的该有机化合物层的一部分除去；

将该掩模层除去；和

将该掩模层除去后，形成含有碱金属或碱土金属的层。

2.根据权利要求1的有机电致发光显示装置的制造方法，其中该掩模层包括从更邻近该有机化合物层的一侧开始以所述顺序层叠的含有水溶性材料的层和在抗蚀剂液体中不溶的层的层叠体。

3.根据权利要求1的有机电致发光显示装置的制造方法，其中在真空气氛中连续地形成该有机化合物层和该掩模层。

4.根据权利要求1的有机电致发光显示装置的制造方法，其中：

该含有碱金属或碱土金属的层包括含有有机化合物、以及碱金属或碱土金属的电子注入层；和

该方法还包括在形成该含有碱金属或碱土金属的层后形成该第二电极。

5.根据权利要求1的有机电致发光显示装置的制造方法，其中该含有碱金属或碱土金属的层包括含有碱金属或碱土金属、以及碱金属和碱土金属以外的金属的第二电极。

6.根据权利要求1的有机电致发光显示装置的制造方法，其中该掩模层包括含有水溶性材料的单层并且只在预定区域部中通过喷墨法形成。

7.根据权利要求1的有机电致发光显示装置的制造方法，其中：

该掩模层包括含有氟化锂的层；和

将没有设置该掩模层的区域中形成的该有机化合物层的一部分除去通过对该有机化合物层的一部分施以激光来进行。