[发明专利]双载子反相器组件结构及其制造方法无效

专利信息
申请号: 201210089929.7 申请日: 2012-03-28
公开(公告)号: CN103165596A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 宋兆峰;谢彦敏 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L21/822
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 祁建国;尚群
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 双载子反相器 组件 结构 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种双载子反相器组件结构,其特征在于,包括:

一闸极,配置于一基板上;

二第一电极,配置于所述基板上、位于所述闸极的两侧且位于一第一平面;

二第二电极,配置于所述基板上、位于所述闸极的两侧且位于一第二平面,其中所述第一电极其中一个与所述第二电极其中一个电性连接;

一双极性半导体层,配置于所述第一平面与所述第二平面之间;

一第一载子阻挡层,配置于所述双极性半导体层与所述第一电极之间;

一第二载子阻挡层,配置于所述双极性半导体层与所述第二电极之间;以及

一介电层,配置于所述闸极及所述第二电极之间。

2.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一电极及所述第二电极位于所述闸极下方。

3.如权利要求2所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一平面低于所述第二平面。

4.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一电极及所述第二电极位于所述闸极上方。

5.如权利要求4所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一平面高于所述第二平面。

6.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由N型有机半导体材料与P型有机半导体材料堆叠所组成。

7.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由N型有机半导体材料与P型有机半导体材料混合所组成。

8.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由具双极特性的有机半导体材料所组成。

9.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由N型无机半导体材料与P型无机半导体材料堆叠所组成。

10.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一载子阻挡层为电子阻挡层,所述第二载子阻挡层为空穴阻挡层;或所述第一载 子阻挡层为空穴阻挡层,所述第二载子阻挡层为电子阻挡层。

11.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一载子阻挡层或所述第二载子阻挡层为一电子阻挡层时,所述电子阻挡层是由一无机材料或一有机材料所组成。

12.如权利要求11所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述无机材料包括WO3、V2O5或MoO3

13.如权利要求11所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述有机材料包括4’,4”-参(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺或双(2-甲基-8-羟基喹啉-N1,O8)-(1,1’-联苯-4-羟基)铝。

14.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一载子阻挡层或所述第二载子阻挡层为一空穴阻挡层时,所述空穴阻挡层是由一无机材料或一有机材料所组成。

15.如权利要求14所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述无机材料包括LiF、CsF或TiO2

16.如权利要求14所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述有机材料包括2,9-二甲基-4,7-二苯基-1,10-菲啰啉。

17.一种双载子反相器组件结构的制造方法,其特征在于,包括:

于一基板上形成二第一电极;

于所述基板上依序形成一第一载子阻挡材料层、一双极性半导体材料层及一第二载子阻挡材料层,以覆盖所述第一电极;

将所述第一载子阻挡材料层、所述双极性半导体材料层及所述第二载子阻挡材料层图案化,以形成裸露出一个第一电极的一部分的一堆叠结构;

于所述基板上形成二第二电极,其中所述第一电极其中一个与所述第二电极其中一个电性连接;

于所述基底上形成一介电层,以覆盖所述堆叠结构及所述第二电极;以及

于所述第二电极之间的所述介电层上形成一闸极。

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