[发明专利]双载子反相器组件结构及其制造方法无效
申请号: | 201210089929.7 | 申请日: | 2012-03-28 |
公开(公告)号: | CN103165596A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 宋兆峰;谢彦敏 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L21/822 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 祁建国;尚群 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双载子反相器 组件 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种双载子反相器组件结构,其特征在于,包括:
一闸极,配置于一基板上;
二第一电极,配置于所述基板上、位于所述闸极的两侧且位于一第一平面;
二第二电极,配置于所述基板上、位于所述闸极的两侧且位于一第二平面,其中所述第一电极其中一个与所述第二电极其中一个电性连接;
一双极性半导体层,配置于所述第一平面与所述第二平面之间;
一第一载子阻挡层,配置于所述双极性半导体层与所述第一电极之间;
一第二载子阻挡层,配置于所述双极性半导体层与所述第二电极之间;以及
一介电层,配置于所述闸极及所述第二电极之间。
2.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一电极及所述第二电极位于所述闸极下方。
3.如权利要求2所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一平面低于所述第二平面。
4.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一电极及所述第二电极位于所述闸极上方。
5.如权利要求4所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一平面高于所述第二平面。
6.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由N型有机半导体材料与P型有机半导体材料堆叠所组成。
7.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由N型有机半导体材料与P型有机半导体材料混合所组成。
8.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由具双极特性的有机半导体材料所组成。
9.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述双极性半导体层是由N型无机半导体材料与P型无机半导体材料堆叠所组成。
10.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一载子阻挡层为电子阻挡层,所述第二载子阻挡层为空穴阻挡层;或所述第一载 子阻挡层为空穴阻挡层,所述第二载子阻挡层为电子阻挡层。
11.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一载子阻挡层或所述第二载子阻挡层为一电子阻挡层时,所述电子阻挡层是由一无机材料或一有机材料所组成。
12.如权利要求11所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述无机材料包括WO3、V2O5或MoO3。
13.如权利要求11所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述有机材料包括4’,4”-参(N-3-甲基苯基-N-苯基氨基)三苯胺或双(2-甲基-8-羟基喹啉-N1,O8)-(1,1’-联苯-4-羟基)铝。
14.如权利要求1所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述第一载子阻挡层或所述第二载子阻挡层为一空穴阻挡层时,所述空穴阻挡层是由一无机材料或一有机材料所组成。
15.如权利要求14所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述无机材料包括LiF、CsF或TiO2。
16.如权利要求14所述的双载子反相器组件结构,其特征在于,所述有机材料包括2,9-二甲基-4,7-二苯基-1,10-菲啰啉。
17.一种双载子反相器组件结构的制造方法,其特征在于,包括:
于一基板上形成二第一电极;
于所述基板上依序形成一第一载子阻挡材料层、一双极性半导体材料层及一第二载子阻挡材料层,以覆盖所述第一电极;
将所述第一载子阻挡材料层、所述双极性半导体材料层及所述第二载子阻挡材料层图案化,以形成裸露出一个第一电极的一部分的一堆叠结构;
于所述基板上形成二第二电极,其中所述第一电极其中一个与所述第二电极其中一个电性连接;
于所述基底上形成一介电层,以覆盖所述堆叠结构及所述第二电极;以及
于所述第二电极之间的所述介电层上形成一闸极。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的