[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

近年来，在便携电话、便携信息终端设备中，使用利用了水晶等的压电振动器作为时刻源、控制信号等的定时源、参考信号源等。

该压电振动器具备互相接合的基底基板及盖(盖子)基板，以及密封于在两基板之间形成的空腔(空洞部)C内的压电振动片。

压电振动片例如是音叉型的振动片，在空腔C内装配于基底基板的上表面。

基底基板及盖基板由玻璃基板形成。

在基底基板与形成于振动片的1对电极对应地形成沿其厚度方向贯通的1对通孔(贯通孔)。在该1对通孔内以堵塞该通孔的方式埋入导电部件并形成贯通电极。

贯通电极与在基底基板的外表面(下表面)形成的外部电极电连接，并且与装配于空腔C内的压电振动片电连接。

而且，在现有的压电振动器中，如专利文献1所公开的那样，使用模具在玻璃封装件(package)形成1对圆筒形的通孔，通过在两通孔填充银膏而形成贯通电极。

另外，也提出有以下的方法：在玻璃封装件中，形成截面形状为圆锥形状的1对通孔，在各通孔配置金属销(贯通电极)，进而在通孔内填充低熔点玻璃。

专利文献1：日本特开2002-124845号公报

发明内容

然而，使玻璃封装件小型化时，难以配置多个通孔。这是因为近距离地形成一对通孔时，在两通孔间有玻璃基板产生缺口之虞。因此，在如以往那样对玻璃基板形成一对通孔的构成中，难以满足耐久性并且使压电振动器小型化。

因此，本发明的目的在于，提供满足耐久性并且能小型化的压电振动器。

在本申请发明中，提供一种压电振动器，其特征在于，具备：基底基板，其由玻璃材料构成；盖基板，其与所述基底基板接合；空腔用的凹部，其形成于所述盖基板及所述基底基板的至少一个；1个通孔，其形成于所述基底基板；一对贯通电极，其配设于所述通孔内；密封玻璃，其保持所述一对贯通电极，并且密封所述通孔；压电振动片，其形成一对电极，使该一对电极和所述一对贯通电极电连接，并以收纳于所述空腔的状态装配于所述基底基板；以及一对外部电极，其在所述基底基板的下表面与所述一对贯通电极分别电连接。

依据本申请的发明，对基底基板形成1个通孔，在该通孔内配置一对贯通电极。因此，与设置2个通孔的情况相比时，能够使压电振动器小型化。

附图说明

图1是本发明的压电振动器的概略构成图。

图2是本发明的压电振动器的内部构成图。

图3是沿着图2所示的A-A线的压电振动器的截面图。

图4是本发明的压电振动器的概略构成图。

图5是本发明中的压电振动片的俯视图。

图6是本发明中的压电振动片的仰视图。

图7是图5所示的截面向视B-B图。

图8是说明本发明的压电振动器的制造工序的流程图。

图9是示出本发明的压电振动器的工序的图。

图10是示出本发明的压电振动器的制造工序的图。

图11是示出本发明的压电振动器的制造工序的图。

图12是示出本发明的压电振动器的制造工序的图。

图13是示出本发明的压电振动器的制造工序的图。

图14是本发明中的基底基板用圆片(wafer)的整体图。

图15是示出本发明的压电振动器的制造工序的图。

图16是示出本发明的压电振动器的制造工序的图。

图17是本发明的振荡器的概略构成图。

图18是本发明的电子设备的概略构成图。

图19是本发明的电波钟的概略构成图。

标号说明

1压电振动器；2基底基板；3盖基板；4压电振动片；6a玻璃料(低熔点玻璃)；6密封玻璃；7贯通电极；8基座板；90金属销；9封装件；30通孔；35接合膜；36、37迂回电极(内部电极)；37b  迂回电极(外部电极)；40基底基板用圆片(基底基板)；50盖基板用圆片(盖基板)；70电极底座部；100振荡器；101振荡器的集成电路；110便携信息设备(电子设备)；113电子设备的计时部；130电波钟；131电波钟的滤波部；321形成模；322凸部；C  空腔；L接合宽度。

具体实施方式

(1)实施方式的概要

首先，制作基底基板用圆片40和盖基板用圆片50。这些圆片由钠钙玻璃形成。