[发明专利]有机电致发光显示器发光缺陷的激光修复方法

说明书

技术领域：

本发明涉及有机电致发光显示器的发光缺陷的修理。尤其涉及无源OLED显示器件发光缺陷的激光修理。

背景技术：

有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode-OLED)是一种自发光显示器件，其制程简单、视角广、画质均匀、反应速度快、能耗低、分辨率和亮度高、色彩丰富、驱动电路简单。被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。

PM-OLED在生产的初期阶段，特别是在没有光罩清洗机的情况下靠人手工擦拭光罩，光罩的固定点(粘付在光罩上没有被清除掉的尘埃或光罩的固有缺陷)比较多，容易造成共阴、共阳，直接影响良率的提升。特别是一般AOI设备，镜头没有微分干涉功能，仅仅可以扫到平面图形，对夹缝里的点一般扫描不到，擦拭时也找不到不良点。目前修复的方法比较多，利用激光打断缺陷点上的铝膜是最为有效的方法之一。

发明内容：

本发明的目的在于利用开放的办公软件，很容易找出每个大片上的固定点位置，在和AOI(Automatic Optic Inspection)扫描的图片进行对比，容易找到发光缺陷产生的原因，共阴一般是由于P4(PM-OLED图形工程的第四道图形-隔离柱层)制作时固定点造成隔离柱图形不良，造成相邻阴极线短路，共阳一般是由于P1、P2(PM-OLED图形工程的第一、第二道图形-金属层、ITO层)固定点或刻蚀不洁，造成相邻阳极线短路。明确了固定点(粘付在光罩上没有被清除掉的尘埃或光罩的固有缺陷，经曝光、显影后造成每一个基板固定位置的图形缺陷)的位置、产生原因及固定点的坐标位置，很容易在修光修复机找到不良点得具体位置，利用激光进行修复。由于AOI机台和激光修复机没有联网，AOI上标出的坐标仅仅作为参考，需要人工比对，找出固定点的位置。

同时利用AOI的扫描结果，在每次生产时，先对AOI扫到的管定点进行确认。若固定点可以造成不良，这些片子在裂片前进行标识，不用LOI检查直接进行修复，修复后在进行检查，这样可以提高生产效率。若不会造成不良，可按正常程序对待。

利用excel表格的透视图表功能，人工将不良屏的位置代码输入到电脑里，会自动生成报表，通过累加(透视图本身具有的功能)可方便的统计出固定点数量。由于模组统计的固定点比AOI扫面的点多，这样可为光罩的清洗提供依据。可将AOI扫不到的固定点在下次擦拭时清除掉。修复时激光的窗口大小及能量选择可根据实际情况确定，不可过大。

附图说明：

图1是一种常见的P1图形缺陷。

图2是一种常见的P4图形缺陷。

图3是一种常见的P2图形缺陷。

图4是电脑自动生成的统计图表。

具体实施方式：

1、在每次有机电致发光二极管的黄光生产结束后，及时把AOI(Automatic Optic Inspection)的管定点位置和图片发送给有机电致发光二极管模组。模组在首片显示器生产时，将AOI扫到的固定点全部标识，切割显示器裂片及老化后进行LOI(lighten inspiron inspection)检查，若可以造成不良，在后续生产时将造成不良的位置全数标识；如图1-3所述为几种典型的图形缺陷。

2、对LOI检查后的不良，人工将不良项目及位置输入到excel表格中，利用excel中“数据透视表”的功能，生成如图4所述的统计图表；“数据透视表”功能自动累加数据，因此不良点的产生由于多次叠加而产生远大于良点的幅值，如图4所示，所述幅值超过正常点约30倍的点一定为不良点，根据经验判断，其中的L01、A15、N08、A08、M16、J16等点即为固定点；

3、对比所述步骤1中AOI扫描到的固定点和步骤2中统计处的固定点，对步骤1中没有发现的固定点，在显微镜下确认不良原因(如制作时固定点造成隔离柱图形不良，造成相邻阴极线短路；PM-OLED图形工程的第一、第二道图形-金属层、ITO层固定点或刻蚀不洁，造成相邻阳极线短路)及不良点位置，为激光修复提供依据，同时为下次光罩擦拭提供依据。

4、按照分析产生的原因及位置，实施激光修复。